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burkert寶德8713型氣體質量流量控制器20001625核心工作原理和結構突破

時間:2025/3/31閱讀:188
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burkert寶德8713型氣體質量流量控制器20001625核心工作原理和結構突破

8713型氣體質量流量控制器*200SCCM,N?,鋁基座,G1/4寸,RS485

控制器| N2 | 20000sccm | 24v DC |內螺紋- G1/4" | RS485, RS422

輸入/輸出

輸入類型數字量

1四氯乙烯

輸出類型數字量

1

二進制輸入1

默認的

二進制輸出1

默認的

核心工作原理

熱式測量原理

毛細管結構:氣體流經加熱的毛細管,散熱速度與流速相關。

溫度反饋:上下游溫度傳感器檢測溫差,通過惠斯通電橋轉換為電信號。

流量計算:根據熱傳導公式(King定律)計算質量流量。

寶德質量流量控制器8713型內容圖.png

控制閉環

PID算法:根據設定流量與測量值的偏差,調整控制閥開度。

動態響應:實時調整確保流量穩定性。

結構突破與創新

傳感器微型化

MEMS技術:集成微加工傳感器,提高響應速度(<5ms)。

低功耗:微型傳感器降低功耗(<1W)。

控制閥優化

壓電閥:無磁滯、長壽命(>10?次循環),適合小流量。

直通式設計:減少壓降,提高大流量效率。

多氣體兼容性

軟件校準:通過算法補償不同氣體熱導率差異。

模塊化設計:更換傳感器模塊支持腐蝕性氣體。

數字通信集成

物聯網協議:內置Modbus、EtherNet/IP接口,支持遠程監控。

智能診斷:預測性維護功能(如傳感器壽命預警)。

耐腐蝕材料

陶瓷傳感器:耐受腐蝕性氣體(如Cl?、NH?)。

PEEK閥體:避免金屬污染,適用于超純工藝。

未來趨勢

智能化:AI算法優化控制策略。

集成化:將MFC與壓力控制器、過濾器集成。

burkert寶德8713型氣體質量流量控制器20001625核心工作原理和結構突破

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