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burkert寶德質量流量控制器20001620技術參數

時間:2025/3/31閱讀:199
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burkert寶德質量流量控制器20001620技術參數

8741型熱式氣體質量流量控制器*3nm3/h,H2,標定壓力5bar,鋁基座,G1/4寸,4-20mA

控制器| H2 | 3000 nm3 /h | 24v DC |內螺紋- G1/4" | 4-20 mA

介質 和 校準

安裝位置

水平

工作面積中等1

3

單位介質1

Nm3 /小時

工作介質1

H2

校正介質1

真實氣體

校準Qnom壓力介質1

5

壓力規格單位

bar (ü)

密封材料

閥座密封材料

FKM(氟橡膠)

對外部材料的密封

FKM(氟橡膠)

輸入/輸出

輸入類型數字量

1四氯乙烯

輸出類型數字量

1

測量

測量或控制范圍

1:50

過程連接 型號/口徑

端口連接1 DN

1/4 "

端口連接類型

內螺紋

端口連接1標準

G

寶德8741流量控制器內容圖.png

應用領域

半導體制造

工藝氣體控制

應用場景:CVD(化學氣相沉積)、ALD(原子層沉積)、刻蝕工藝中的氣體控制(如SiH?、NH?、Cl?)。

技術需求:

高精度:±1% FS(確保薄膜均勻性)。

快速響應:<10ms(適應脈沖工藝)。

耐腐蝕:傳感器需耐受腐蝕性氣體。

真空系統

應用場景:離子注入機、真空鍍膜機中的氬氣(Ar)流量控制。

技術需求:

大流量范圍:0-500 SLM。

低壓降設計:減少真空泵負載。

化工與實驗室

反應釜進氣控制

應用場景:精細化工中的氣體反應(如H?、O?參與的反應)。

技術需求:

高穩定性:長時間漂移<0.5% FS。

耐腐蝕材料:316L不銹鋼或PEEK閥體。

氣相色譜儀(GC)

應用場景:載氣(He、N?)的恒流控制。

技術需求:

低壓降:<0.1bar(避免影響色譜柱分離)。

數字通信:支持Modbus或RS-485集成。

生物醫藥

發酵罐通氣控制

應用場景:O?和CO?的配比控制(影響菌體代謝)。

技術需求:

衛生級設計:易清洗。

耐腐蝕:耐受高溫蒸汽滅菌(121℃)。

凍干機控制

應用場景:N?在冷凍干燥中的流量控制。

技術需求:

寬溫型:-20-80℃(適應凍干循環)。

高精度:±0.5% FS(確保產品均一性)。

burkert寶德質量流量控制器20001620技術參數

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