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無塵室分類：

1.亂流式

空氣由空調箱經風管與無塵室內之空氣過濾器（HEPA）進入無塵室，并由無塵室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。亂流無塵室靠送風氣流不斷稀釋室內空氣，將污染空氣逐漸稀釋，來實現潔凈的。氣次數決定定義中的凈化級別（換氣次數越多，凈化級別越高）。此型式適用于無塵室等級1,000-100,000級。

優點：構造簡單、系統建造成本，無塵室之擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高無塵室等級。

缺點：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制

程產品。另外若系統停止運轉再激活，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相當長一段時間。

2. 層流式

層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率*之過濾器進入室內，并由高架地板或兩側隔墻板回風，此型式適用于無塵室等級需定較高之環境使用，一般其無塵室等級為Class 1~100。其型式可分為二種：

⑴水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風系統回風，塵埃隨風向排出室外，一般在下流側污染較嚴重。

優點：構造簡單，運轉后短時間內即可變成穩定。

⑵垂直層流式：房間天花板*以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^域。

優點：管理容易，運轉開始短時間內即可達穩定狀態，不易為作業狀態或作業人員所影響。

缺點：構造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當占空間，維修更換過濾器較麻煩。

3. 復合式

復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。

⑴潔凈隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域*覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。

此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質，ULSI制程大都采用此種型式。

潔凈隧道另有二項優點：A.彈性擴充容易； B.維修設備時可在維修區輕易執行。

無塵室設計方案注意事項：

1.無塵車間設計內容有合理布置工藝流程和建筑平面；

2. 選擇滿足無塵車間特點的建筑構造和材料；

3. 無塵車間設計應依據當時當地的能源供應背景，選定可靠和經濟的冷、熱源；

4. 劃分和布置空調凈化和排風系統；

5. 選擇合理的空氣凈化通風設備； 無論是新建還是重新改造的無塵車間，都一定依照國家相關標準、規范進行。甘肅無塵室凈化裝修

無塵室設計時應考慮的幾個特性：  

耐久性：  

  無塵車間要有符合環境、無塵車間內部的清洗溶液及振動、設備、空氣過濾系統的耐久材料。而耐久性，同時也依賴無塵車間等級來建造。半導體傾向選擇鋁，基于它的耐久性，然而，它不是便宜的物質。  

清洗：   

在制藥和生物工學工業，無塵車間的墻壁需要有容易被清洗和擦拭，直到防止濾過性病毒或細菌的污染之特性。在市場，清洗真正地是一個重要的企業。 

適應性：  

 一些廠商認為適應性可節省一筆金錢，而適應性意指系統可任意移動或改變而不會招致大的損失。擁有者和設計者的能力為改變的關鍵，所以他們從不將初的設計定型。

維護性：

對無塵車間而言，較嚴格要求的部分為地板、天花板，以及墻壁的部分。至于維修的問題，對材料的選擇是否容易清潔性及維修性都應有其優先級。在應用力面、天花板、地板及墻壁三者之中重要的為天花板，其包含HEPA及ULPA等濾網，其可過濾掉房間的微粒子，且其常會因各個不同的需要，便其分開來，供應各個不同區域的小房間，曾有人說：若建造之預算因某種原因被限制，除了少數的小錢外，其天花板將趨于更貴的地步，其實天花板是一個頗復雜的系統其必須嚴格地過濾粒子，故其設計必須準確，無塵潔凈室的風管系統要保證密封性, 嚴格檢測風管泄漏, 定期進行漏光測試或漏風測試, 監測法蘭或螺紋密閉性, 必要時進行焊接或密封膠處理。

無塵室的構成：

一般情況下，無塵室是指生產和檢驗所需的工作環境，對于生產環節，應包括與生產產品工藝流程相對應的功能間，如注塑間、干燥間等；對于檢驗環節，應包括與檢驗有關的功能間，如陽性對照間、無菌檢驗間和微生物限度間等；為生產服務的輔助功能間，如洗衣間、潔具間等以及連接各功能間的緩沖過渡通道。

無塵的氣流組織形式是實現潔凈環境的重要保證措施。一般氣流組織形式有非層流方式或層流方式兩種。用高度凈化的空氣把車間內產生的粉塵稀釋，叫做非層流方式（亂流方式）。用高度凈化的氣流作為載體，把粉塵排出，叫做層流方式。層流方式有垂直層流和水平層流兩種。從房頂方向吹入清潔空氣通過地平面排出叫垂直層流式，從側壁方向刮入清潔空氣，從對面側壁排出叫水平層流式。亂流方式由于換氣次數的變化潔凈度也隨之變化。

無塵室的氣流應滿足潔凈度和人體健康的要求，如關鍵工作操作點應位于潔凈空氣流的上風側，對散發有害物質的工作點，人的頭部應避免在其空氣流正對的下風側。應使無塵車間氣流流向單一。非單向流潔凈室（區）內設置操作臺時，其位置應遠離回風口。產品也不應擺放在回風口附近，因為回風口處的潔凈度比較差?；仫L口應均勻布置在潔凈室（區）的下部，高度應低于工作臺面。潔凈室（區）內有局部排風裝置時，其位置應設在工作室氣流的下風側，以免氣流短路。甘肅無塵室凈化裝修