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技術文章

我司銷售的近正常光譜反射儀(HO-NNSR-02)

閱讀:129          發布時間:2024-12-3

近正常光譜反射儀是用于工業和研究領域薄膜厚度分析的基本儀器。Holmarc 的 NNSR(型號:HO-NNSR-02)能夠高速、高重復性地分析薄膜

厚度、復折射率和表面粗糙度。NNSR 理論采用菲涅爾方程的復雜矩陣形式。絕對反射光譜是反射儀的原理,即反射光束(通常為多色)的強度與

入射光束強度的比值。通常入射到樣品表面的光束會從薄膜的頂部和底部反射出來,這些光束會受到干擾,并通過光纖(雙纖光纖)經計算機傳導

到連接光譜儀的 CCD 上。在監視器上,我們可以看到與薄膜厚度成正比的干涉振蕩光譜圖。

                                                                                           規格


薄膜厚度范圍:25 納米 - 3.5 微米

    FFT 厚度范圍:3500 納米 - 35 微米

    光譜儀波長范圍:340 納米 - 940 納米

    反射波長范圍:390 納米 - 940 納米

    光源:鹵鎢燈石英燈,20 和 50 瓦(定制)

    探測器:CCD 線性陣列,3648 像素

    傳輸方式:雙纖(玻璃芯和 PMMA 包層]

    薄膜疊層精度:± < 1 nm

    同一疊層的精度:± < 2 nm(無粗糙度)(與 SEM 比較)

    樣品上的光斑尺寸:120 微米(使用 5 倍 SLWPA 物鏡

    工作距離:3 毫米

    光纖:帶 SMA 的多模雙芯光纖

    掃描:手動(千分尺控制 15 毫米掃描)

    參考樣品:裸 NSF66 / 裸鋁(定制) / 普通玻片

    深色樣品:N-Bk7 黑色涂層/保持 45° 的鋁鏡(定制)

    標準樣品:NSF-66 基底上的 SiO2 薄膜 / Bk7 基底

    測量模式 :    曲線擬合/回歸算法、FFT、FFT + 曲線擬合

    分散公式:Cauchy、Sellmeier 和經驗模型

    EMA 模型:線性 EMA、Bruggemann、Maxwell Garnett 模型

    PC 接口:USB


特點


    分析單層和多層薄膜(間接法)


    光纖探頭用于測量正常入射角的反射率。


    CCD 線性陣列探測器,用于絕對反射率測量。


    采用 Levenberg - Marquardt 曲線擬合算法進行厚度測量。


    基于 FFT 的厚層厚度測量,PET 薄膜標準化。


    用于粗糙度測量的線性、布魯格曼和麥克斯韋石榴石近似模型。


    吸收和透射研究。


    針對 n 和 k 值的參數化分散模型,如 Cauchy、sellimier、組合和 drude。


    用戶可擴展材料庫


    數據可保存為 Excel 文件,用于提取光學特性


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