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海德漢heidenhain敞開式直線光柵尺

海德漢316222-01

海德漢敞開式光柵尺

LIC 4193F、LIC 4115

LIC 4197M、LIC 4199P、

LIC 2117、LIC 2197P、

LIC 2119、LIC 2199M、

LIP 382、LIP 281、LIP 581、

LIP 471、LIF 481、LIDA 473、

LIDA 475、LIDA 487、

LIDA 489、LIDA 277

封閉式光柵尺能防塵、防切屑和防飛濺的切削液，是用于機床的選擇。

敞開式光柵尺與讀數頭和光柵尺或鋼帶間沒有機械接觸。這些光柵尺的典型應用包括：測量機、比較儀和其它長度計量精密設備以及和測量設備，例如用在半導體工業中。

增量式光柵尺決定當前位置的方式是由原點開始數測量步距或細分電路的計數信號數量。海德漢的增量式光柵尺帶有參考點，開機時必須執行參考點回零，操作非常簡單、快捷。

式光柵尺無需執行參考點回零操作就能直接提供當前位置值。光柵尺的位置值通過EnDat接口或其它串行接口傳輸。'

海德漢光學掃描的直線光柵尺或編碼器的

測量基準都是周期刻線－光柵。

這些光柵刻在玻璃或鋼材基體上。對于大

長度的光柵尺，用鋼帶作為光柵尺基體。

海德漢公司用以下特別開發的光刻工藝制

造精密光柵。

• METALLUR：抗污染的鍍金層金屬柵

線；典型柵距：40 μm

• DIADUR：玻璃基體的超硬鉻柵線（典

型柵距：20 μm）或玻璃基體的三維鉻

線格柵（典型柵距：8 μm）

• SUPRADUR相位光柵：光學三維平面格

柵；強抗污能力；典型柵距：不超過8 μm

• OPTODUR相位光柵：光學三維平面格

柵，超高反光性能；典型柵距：不超過2 μm

除極小柵距外，由該工藝刻制的光柵擁有

優異的邊緣清晰度和均勻性。結合光電掃

描法，邊緣清晰的刻線是輸出高質量信號的關鍵。

母版光柵采用海德漢公司定制的精密刻線機制造。

LICLIC敞開式直線光柵尺用于測量高速運動的行程達27 m內的位置。其尺寸和安裝方式與LIDA 400相同。

　　LIPLIP敞開式直線光柵尺的測量步距非常小、精度和重復精度非常高。掃描方式為干涉掃描，測量基準為DIADUR相位光柵。

　　LIFLIF敞開式直線光柵尺的測量基準是SUPRADUR玻璃基體光柵，掃描方式為干涉掃描。特點是精度和重復，安裝簡單，有限位開關和回零軌。特殊型號的LIF 481 V可用于10–7 bar的真空環境中。

LIC敞開式直線光柵尺能夠對行程達28 m和高速運動進行位置測量。其尺寸和安裝方式與 
LIDA 400相同。 
LIP 200
LIP 211和LIP 291增量式直線光柵尺輸出位置值的位置信息。正弦掃描信號在讀數頭中被高倍頻 
細分且其計數功能將細分的信號轉換成位置值。與所有增量式編碼器一樣，借助參考點確定 
原點。 
LIP

超

LIP敞開式直線光柵尺擁有極小的測量步距，*的精度和重復精度。掃描方式為干涉掃描，測 
量基準為DIADUR相位光柵。

海德漢heidenhain敞開式直線光柵尺