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真空元件在低于大氣壓環境中工作的元件稱為真空元件，由真空元件所組成的系統稱為真空系統。真空系統易于實現自動化，系統的真空是依靠真空發生裝置產生的。
1，真空發生器帶消聲器的真空發生器，根據噴射器原理產生真空。當壓縮空氣從進氣口 P流向排氣口 S時，在真空口 U上產生真空。吸盤與真空口連接。如在進氣口無壓縮空氣，則抽真空過程停止。
2，真空發生器的特點 結構簡單，體積小，使用壽命長；產生的真空度 （負壓力）可達 88kPa，吸入流量不大，但可控、可調、穩定、可靠；瞬時開關特性好，無殘余負壓。
3，真空吸盤是直接吸吊物體的元件，是真空系統中的執行元件。 吸盤通常是由橡膠材料和金屬骨架壓制而成的。制造吸盤的材料通常有丁腈橡膠、聚氨酯橡膠和硅橡膠等，其中硅橡膠適用于食品行業。常用真空吸盤；圓形平吸盤適合吸表面平整的工件。波紋吸盤采用風箱型結構適合吸表面突出的工件。吸盤依靠螺紋直接與真空發生器或真空安全閥、真空負壓氣缸相連。
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