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一般采用物理吸收，即將廢氣引入吸收液進凈化，待吸收液飽和后經加熱、解析、冷凝回收;本法適用于大氣量、低溫度、低濃度的廢氣，但需配備加熱解析回收裝置，設備體積大、投資較高。

一般采用活性炭吸附法： 通過活性炭吸附廢氣，當吸附飽和后，活性炭脫附再生，將廢氣吹脫后催化燃燒，轉化為無害物質，再生后的活性炭繼續使用。當活性炭再生到一定次數后，吸附容量明顯下降，則需要再生或更新活性炭。

活性炭是目前處理有機廢氣使用多的方法，對苯類廢氣具有良好的吸附性能，但對烴類廢氣吸附性較差。主要缺點是運行成本較高，不適合于濕度大的環境，但就目前市場應用來說，采用活性炭吸附常用。

活性炭采用多為：活性炭顆粒及活性炭纖維，采用活性炭顆粒價格比較便宜，但效果差些，相比來說采用活性炭纖維價格相對高些，效果好些。

3、直接燃燒法

利用燃氣或燃油等輔助燃料燃燒，將混合氣體加熱，使有害物質在高溫作用下分解為無害物質;本法工藝簡單、投資小，適用于高濃度、小風量的廢氣，但對安全技術、操作要求較高。

4、催化燃燒法

把廢氣加熱經催化燃燒轉化成無害無臭的二氧化碳和水;本法起燃溫度低、節能、凈化率高、操作方便、占地面積少、投資投資較大，適用于高溫或高濃度的有機廢氣。

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