詳細(xì)介紹
日本三菱低電阻率自動(dòng)測量儀 小型映射系統(tǒng) MCP-S330 型
表面電阻率[Ω/τ],體積電阻率[Ω·cm]不受樣品形狀影響
導(dǎo)電薄膜、金屬、ITO薄膜等薄膜厚度和成分的變化一目了然
可映射高達(dá) 300mm 的樣品,并連續(xù)測量多個(gè)樣品
與洛雷斯塔 GX 連接,可測量 10-4 至 10+7 Ω 范圍
*自動(dòng)化測量、計(jì)算、數(shù)據(jù)處理和 3d 圖形輸出

導(dǎo)電薄膜、金屬、ITO薄膜等薄膜厚度和成分的變化一目了然
對顯示裝置(液晶和有機(jī)EL)的高速響應(yīng),對精細(xì)化的要求,電極基板的均勻性變得更加重要。
表面電阻率取決于材料。 如果材料均勻,則薄膜厚度和表面電阻率減小。
在薄膜領(lǐng)域,通過繪制表面電阻率圖來評估薄膜厚度的變化。
Metrol HT-STM82A
Bando A-13CBR/F 15W *1.1T *480mm
Shinetsu ST-15DG
MASPRO 4SPFW
Anywire BL227XB-K02VL-P
ARIMITSU RG-313R
HIOKI L2100
JEOL NO.804500070
HIOKI U8552
ASAHIENG HSM-5028H