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上海琦圣達自動化設備有限公司

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IAGD5-日本喜開理CKD集成化供氣系統原裝*

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貨物所在地：上海上海市

更新時間：2025-04-15 21:00:08

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美國加洲CAI: CAI取樣器 CAI分析儀

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產品簡介詳細介紹

日本喜開理CKD集成化供氣系統原裝*－IAGD5集成化供氣系統
省空間且提高了維護性的工藝氣體供給系統。
從設計到制作均可根據客戶需要的流程進行。
1.125inch、采用W密封。
行業：半導體制造工序（前工序）化學氣體供給設備用元件

日本喜開理CKD集成化供氣系統原裝*－IAGD5集成化供氣系統產品特點：

【集成單元】
通過緊湊集成標準化部件，構建工藝氣體供氣線。
實現了可高速置換工藝氣體和惰性氣體的理想流路。
從設計到裝配、檢查完成后交付，可減少客戶的工時。

日本喜開理CKD集成化供氣系統原裝*－IAGD5集成化供氣系統衍生系列：

IAGD5集成化供氣系統元件規格：

項目: MMGD5-R MMGD5-1
使用流體: 惰性氣體·工藝氣體
使用壓力 Pa（abs）-MPa（G）: 1.3×10-6～0.99
流體溫度 ℃: 5～80
環境溫度 ℃ : 5～80
閥座泄漏 Pa m3/s(He): 1.0×10-10
外部泄漏 Pa m3/s(He): 2.8×10-12
Cv值: 0.26
配管方式 : 1.125英寸、W密封（公稱6.35）
閥體材質： SUS316L
膜片材質： Ni-Co合金
閥座材質： PCTFE

項目： MFGD5-11D-W-1 MFGD5-11D-W-4
使用流體：惰性氣體·工藝氣體
使用壓力 Pa（abs）-MPa（G）：1.3×10-6～0.7
流體溫度 ℃：-10～80
環境溫度 ℃：-10～80
閥座泄漏：大Cv值的1/100以下
外部泄漏 Pa?m3/s(He)：2.8×10-12
Cv值（調整范圍）：0.003-0.03 0.02-0.2
配管方式：1.125英寸、W密封（公稱6.35）
閥體材質：SUS316L
膜片材質：Ni-Co合金

上海伊里德代理供應：喜開理CKD電控換向閥、喜開理CKD傳感器、喜開理CKD電機等產品，價格實惠，部分常規型號有現貨。如需采購可咨詢。我將竭誠為您服務。請您詢價采購時請備注貴公司營業執照抬頭、連系方式；您需要的品牌型號數量發給我們。我們將按順序*時間給您回復報價。

產品具體詳見：IAGD5集成化供氣系統元件

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