X、Y和Z軸

(3軸型)

MF-UB1010D

MF-UB2010D

MF-UB2017D

MF-UB3017D

MF-UB4020D

BD(亮/暗視場)

X和Y軸

(2軸型)

MF-UC1010D

MF-UC2010D

MF-UC2017D

MF-UC3017D

MF-UC4020D

X、Y和Z軸

(3軸型)

MF-UD1010D

MF-UD2010D

MF-UD2017D

MF-UD3017D

MF-UD4020D

觀察圖像

BF(亮視場)/正像BF(亮視場)，DF(暗視場) (僅MF-UC和MF-UD型)，偏光，微分干涉對比(DIC)/正像

目鏡

屈光度調節

10X(標準選件) (視場數：24)，15X，20X

轉塔

(二選一)

BF(亮視場)

等焦手動轉塔/電動轉塔(二選一)

BD(亮/暗視場)

手動轉塔/電動轉塔(二選一)

物鏡(可選)

BF(亮視場)

M Plan Apo, M Plan Apo HR, M Plan Apo SL, G Plan Apo (所有鏡頭)

BD(亮/暗視場)

BD Plan Apo, BD Plan Apo HR, BD Plan Apo SL (所有鏡頭)

照明裝置

(二選一)

LED照明裝置

透射照明：內置孔徑光闌，白色LED光源，無極亮度調節，冷卻風扇

反射照明：科勒照明，可調孔徑光闌，白色LED光源，無極亮度調節

控制裝置：電源ON/OFF開關(主開關)，100 - 240V AC電源輸入連接器

鹵素照明裝置

透射照明：遠心光學系統，內置孔徑光闌，鹵素燈泡(12V, 50W)，無極亮度調節，冷卻風扇

反射照明：科勒照明，可調孔徑光闌，鹵素燈泡(12V, 50W)，無極亮度調節，冷卻風扇

控制裝置：電源ON/OFF開關(主開關)，100 - 240V AC電源輸入連接器

工作臺

測量范圍

100×100mm

200×100mm

200×170mm

300×170mm

400×200mm

快速釋放裝置

安裝在X和Y軸上

調零開關

安裝在X和Y軸上 (Z軸，僅適用于MF-UB和-UD型)

Z軸

大工件高度

150mm

220mm

進給方式

同軸粗調和精細進給，兩側手柄(粗調：10mm/自轉，精調：0.1mm/自轉)

測量精度(XY軸：無負載)

(2.2+0.02L)μm L: 為測量長度(mm)

數顯計數器

分辨力

可在1/0.5/0.1μm間轉換

燈泡更換符合傳輸/反射照明

標準：513667 (12V, 50W)

燈泡壽命：1,100小時

用于替代反射照明(從獨立光源)

標準：517181(12V100W)

高亮度：12BAD602(12V100W)