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產品簡介
NANO系列低壓等離子清洗機低壓等離子技術，氣體在真空中通過獲取能量從而被激發。等離子由高能離子、高能電子以及其它反應粒子組成。由上，材料表面可以被有效的改變。
詳細介紹
NANO系列低壓等離子清洗機
低壓等離子技術，氣體在真空中通過獲取能量從而被激發。等離子由高能離子、高能電子以及其它反應粒子組成。由上，材料表面可以被有效的改變。
等離子效應可分為以下三類：
一微砂噴射：材料表面通過離子轟擊被消減
二化學反應：材料表面與離子化的氣體發生化學反應
三紫外線放射：紫外射線將長鏈碳化合物分解
NANO系列低壓等離子清洗機應用：
表面清潔(e.g. before bonding, soldering or gluing)
表面活化(e.g. before printing, varnishing or gluing)
表面蝕刻(e.g. microstructuring of silicon or etching of PTFE)
表面涂層(e.g. deposition of hydrophobic / hydrophilic layers)
NANO系列低壓等離子清洗機應用領域：
REM, TEM | 考古 | 汽車制造業 | 橡膠制造業 |
微機械制造 | 傳感器檢測 | 滅菌 | 紡織業 |
醫療器械制造業 | 塑料制造業 | 研發部門 | 電子半導體行業 |
NANO系列低壓等離子清洗機規格、參數：
系列 | Nano系列 |
控制系統 | 半自動型 PCCE 控制系統 (MicrosoftWindows CE) PC 控制系統 (Microsoft Windows POS Ready 2009) |
體積 | 18~36L |
真空腔室 | 圓形不銹鋼件，配有蓋子 矩形不銹鋼件，配有鉸鏈的門 配有蓋子的圓形鋁材，或者配有鉸鏈的門 配有蓋子的圓形石英玻璃 (UHP)，或者配有鉸鏈的門 配有蓋子的圓形硼硅玻璃 (UHP)，或者配有鉸鏈的門 |
電極 | 單層或多層 RIE |
樣品支架 | （選項：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末轉鼓、散裝件轉鼓、鋁板、不銹鋼板、硼硅玻璃、石英玻璃 |
氣源 | 針型閥 質量流量控制器 (MFCs) |
壓力計 | Pirani Baratron（適用于腐蝕性氣體版本） |
計時器 | 數字型 |
高頻電流發生器 | 40 kHz: 功率 0 - 300 W；0 -1000 W 13.56 MHz: 功率 0 - 100 W；0 - 300 W 2.45 GHz: 功率 0 - 600 W 所有發生器均為 0 - * 無級可調型 |
真空泵 | 規格和制造商均各有不同（按照活性炭過濾器的需要） |
電源 | 臺式設備為 230 V，立式設備為 400 V/3 相位 |