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產(chǎn)品簡介

PICO系列等離子清洗機Pico 等離子設(shè)備能夠以不同的形式進行整合，例如以模塊系統(tǒng)的形式。在下文中您可以大致了解能夠與 Pico 等離子系統(tǒng)一同使用的較常見的選裝件。

PICO系列等離子清洗機

Pico 等離子設(shè)備能夠以不同的形式進行整合，例如以模塊系統(tǒng)的形式。在下文中您可以大致了解能夠與 Pico 等離子系統(tǒng)一同使用的常見的選裝件。

Pico 等離子系統(tǒng)主要應(yīng)用于以下領(lǐng)域：

小批量生產(chǎn)

分析 (REM, TEM)

醫(yī)療技術(shù)

滅菌

研究和開發(fā)部門

考古

紡織技術(shù)

塑料技術(shù)

PICO系列等離子清洗機規(guī)格參數(shù)：

系列	Pico系列
控制系統(tǒng)	半自動型 PCCE 控制系統(tǒng) (MicrosoftWindows CE) PC 控制系統(tǒng) (Microsoft Windows POS Ready 2009)
體積	4~15L
真空腔室	圓形不銹鋼件，配有蓋子（大約Φ 150 mm, 長 320 mm 或者長 600 mm）或者矩形不銹鋼件，配有鉸鏈的門（約寬 160 mm x 高 160 mm x 深 325 mm 或者 600 mm）配有蓋子的圓形鋁材，或者配有鉸鏈的門（大約Φ 130 mm, 長 300 mm 或者長 600 mm）配有蓋子的圓形石英玻璃 (UHP)，或者配有鉸鏈的門（大約Φ 130 mm, 長 300 mm 或者長 600 mm）配有蓋子的圓形硼硅玻璃 (UHP)，或者配有鉸鏈的門（大約Φ 130 mm, 長 300 mm 或者長 600 mm）
電極	單層或多層 RIE
樣品支架	（選項：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末轉(zhuǎn)鼓、散裝件轉(zhuǎn)鼓、鋁板、不銹鋼板、硼硅玻璃、石英玻璃
氣源	針型閥質(zhì)量流量控制器 (MFCs)
壓力計	Pirani Baratron（適用于腐蝕性氣體版本）
計時器	數(shù)字型
高頻電流發(fā)生器	40 kHz: 功率 0 - 200 W；0 -1000 W 13.56 MHz: 功率 0 - 50 W；0 - 100 W；0 - 300 W 2.45 GHz: 功率 0 - 300 W 所有發(fā)生器均為 0 - * 無級可調(diào)型
真空泵	KASHIYAMA
電源	臺式設(shè)備為 230 V，立式設(shè)備為 400 V/3 相位