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AZM 415-11/11ZPK 24 VAC/DC 101167205    門保護開關    SCHMERSAL
TAS301/220+X+209    潛水泵    brinkmann
KL5101    模塊    Beckhoff
M-3SED6CK13/350CG24N9K4/P(R900223864)    比例閥    Rexroth
ZS25GE-mn120/100/p10    風速傳感器    Hoentzsch
NT    顯示表    Hoentzsch
MHA-A2P    壓力表    AirCom
FTL260-1020    液位傳感器    E+H
69010050B.SX12V025HP    振動傳感器    SENSOREX
PSV 552/220-3 -42 H 80/80/A2    液壓閥    Hawe
PSV 55/220-3 -42 H 80/80 /C 2    液壓閥    Hawe
AZ16 ST1-AS SCHMERSAL    接近開關    SCHMERSAL
CFAM 12P3600/S14    編碼器    Baumer
z819/13/16X1.5    接頭    Hasco
z809/13/16X1.5    接頭    Hasco
AZ16 ST1-AS SCHMERSAL    接近開關    SCHMERSAL
IPRK 95/44 L.2    接近開關    Leuze
OGWSD 70 P3K-TSSL    放大器    Di-soric
DCC12-M04-PSK-IBSL    接近開關    Di-soric
IR 25 PSOK-IBS    感應傳感器    Di-soric
777949    控制器    PILZ
774318    控制器    PILZ
DCM3-217B-S    壓力開關    FEMA
Nr：040012215 ALSR25    軸向軸承系統    PFAFF
OMNIPORT20    探頭    E+E
HA040201    溫度傳感器    E+E
HA040204    壓力傳感器    E+E
HA010103    過濾器    E+E
HA010813    電纜    E+E
Certificate of origin（E+E）    原產地證明    E+E
6825N    燈管    HOENLE
3VF3111-3BN41-0AA0    模塊    SIEMENS
BAC 40/134-1,85/2-S    泵    Wilo（Salmson）
29 BM-199/499    凸輪開關    STROMAG
Photo sensor FSP 60A1-2202-E    轉換器    Sensorik
A2060 (25Glieder, jeweils 2 Ketten gepaart)    鏈條    Renold
A2060(27Glieder, jeweils 2 Ketten gepaart)    鏈條    Renold
A2060X10FT    鏈條    Renold GmbH
1394142,6.034.02-6707-11    測試鞋    foerster
0154474,6.762.02-6621-2510    碳刷    foerster
04F12y38T05 ID.8000602    探頭    GE
04A07x43L03 ID.8000601    探頭    GE
05D19y04L05 ID.8000362    探頭    GE
95.600.029.2.6    工件夾具    OTT-JAKOB
MFM D-6270/LDP SN1709-12C13295-D    氣體流量計    M+W Instruments GmbH
PDMP 22-41/G 24    壓力調節閥    Hawe
VME421H-D-1    絕緣檢測儀    Bender
6DD2920-0AR5        SIEMENS
1-MP01    放大器    HBM
BN5983.53 DC24V    安全繼電器    DOLD
GV470    隔離放大器    motrona
GV210    隔離放大器    motrona
MP 80C 1.5KW B=470mm    潛水泵    SACEMI
YT71IMAAA2505;IMM71A 0.37KW B=250mm    潛水泵    SACEMI
FLDP-IM8-0001 Nr:6825320    總線模塊    Turck
LDECB0F1112NNNHW    控制器    LENZE
02170-05    工件夾具    norelem
02007-924X100    工件夾具    norelem
07040-36125    工件夾具    norelem
07040-36315    工件夾具    norelem
07030-30315    工件夾具    norelem
0250RN006 BN4HC s-nr:319536    濾芯    hydac
3RN1-011-1CB00    模塊    SIEMENS
Artikel Nr. 3620019    過濾器    Grafix GmbH
ETB Z015B8 GS 24V 34NM    抱閘    danfoss bauer
GS-22-200-AA-830N-K11913    氣彈簧    ACE
Artikel:152-00713 typ: 35_HGE_590_FV70_A1R    感應傳感器    STROMAG
TS ,0111028    液位變送器    KSR Kuebler
Order-no. B26660    測試儀    FORM+TEST Seidner
Order-no. B26670    附件    FORM+TEST Seidner
6243.25..002 Druckminderer Type 6243.2 DN25    減壓閥    SYR
XALK178G    壓力傳感器    SCHNEIDER
XAPM2204    壓力傳感器    SCHNEIDER
XAPM3206    壓力傳感器    SCHNEIDER
11046061 HSSE D 33B N 1-10.5mm 0.5    麻花鉆    HAHN+KOLB Werkzeuge GmbH
model-code BGN-S309BJ0F0-0-S50-X    流量計    Heinrichs
FSK-254-2.4/W/-/12/Z4    液位計    hydac
LS 90 L G326591MM    電機    LEROY-SOMER
LTYPE: 9101200110    緩沖墊    H+L
B8151-0 Nr:6904601    接頭    Turck
BS8151-0 Nr:6904611    接頭    Turck
BI15U-CP40-FDZ30X2 No.4280600    接近開關    Turck
SI5000    壓力傳感器    IFM
43628999    工業減震器    Hanchen
IBV 102 ID:536422-20    光柵尺    heidenhain
S2-GL25    流量計    Eletta Flow
MPRN03 ID-Nr: 288275    齒輪箱    Vogel
200.051.000 4.054 + AP 0 Kombirolle ? 62,5 mm    軸承    Winkel
UR1-015GM    流量開關    Honsberg
KUS 3.50 230V AC 2200800157    整流電源    kuhse
43048990    襯墊圈    SAT Anlagentechnik GmbH
43048969    襯墊圈    Sterling
35042269    密封維修包    Sterling
MI250B/NJ25-15m    高溫接近開關    Mel
MI250B/NJ25-25M    高溫接近開關    Mel
MI250B/NJ20-20m    高溫接近開關    MEL Mikroelektronik GmbH
6262592 LP60SL44WEGE PE(50A)+PE+9X10A/480V+24X10A/24V+9XPB    電氣滑環    Stemmann-Technik GmbH
DG2H    油壓傳動閥    Hawe
G22-0-G24    油壓傳動閥    Hawe
GR2-3-G24    油壓傳動閥    Hawe
G3-3-G24    油壓傳動閥    Hawe
383600-22    編碼器    heidenhain
POLIM-C 2.5N    自動控制器    ABB
BSK 2651-01 31645    工件夾具    ORTLIEB Praezisions-Spannzeuge GmbH
6063120 4WE 6 E S01-24DG/V    電磁閥    hydac
6063118 4WE 6 D S01-24DG/V    電磁閥    hydac
SK 1000E-401-340-A-E    自動控制器    NORD
NT 64-MS-S6/370-2K-T70NC    液位開關    Buhler
MS96-12R/24VDC Nr:5231007    流量開關    Turck
FCS-G1/2A4-NA Nr:6870338    流量開關    Turck
ASEW001D10    位置指示器    Magnet-Schultz
EM 411 PH/180° 1O/1S 43119003    限位開關    steute
MPS3-230/24 24V NO.85051    電源模塊    Murr
MVW-630-SHP    分流閥    M+S HYDRAULIC
Nr    振動密度儀    J.Engelsmann
Nr125990008    量筒    J.Engelsmann
ED 350/B/N-2 SN.9705650001    氣壓缸    El-O-Matic
6DD1661-0AE1    通訊模塊    SIEMENS
6DD1661-0AD1    通訊模塊    SIEMENS
6DD1640-0AH0    模塊    SIEMENS
6DD1610-0AH6    存儲    SIEMENS
6DD1600-0BA2    CPU板    SIEMENS
6DD1684-0GD0    電纜    SIEMENS
6DD1681-0GK0    模塊    SIEMENS
6DD1681-0DH1    模塊    SIEMENS
6DD1681-0AJ1    模塊    SIEMENS
6DD1684-0GC0    電纜    SIEMENS
6DD1681-0EB3    模塊    SIEMENS
6DD1682-0DA1    附件    SIEMENS
6DD1842-0AA1    模塊    SIEMENS
6DD1607-0AA2    模塊    SIEMENS
6DD1607-0CA1    模塊    SIEMENS
6DD1606-0AD1    模塊    SIEMENS
6DD1682-0CH2    機架    SIEMENS
LB3F-50 G1/2    防爆閥    Hawe
LB3F-63 G1/2    防爆閥    Hawe
GKR04-2M VAK 071C42    電機    LENZE
FS4    濾芯    ZANDER
FS5    濾芯    ZANDER
DM 100Z80-160    流量計    Elster
6SY7000-0AB28    風機    SIEMENS
6SY7000-0AB30    風機    SIEMENS
NI4U-EG08-AN6X Nr:4600610    接近開關    Turck
AF80/2C-11 3~MOT A807175313H 0489/Y06 361782 1.8kw Ha0102100    電機    tool-temp
C-572/571 with Motor Wb0202030    泵（含電機等配件）    tool-temp
63A for TOOLTEMP TT380/2 Gk0700800    開關    tool-temp
IGMF 008 GOP with 10m cable 3x0.34 m㎡ （P30709/10M）    流量計    EGE
11BIS 1/2    減壓閥    DESBORDES
MSV D5 SOS 00 DV24V1W    電磁閥    METAL WORK
DF27A1B1C1G2ET1LS2000    阻旋式料位計    mollet
PNOZ X2.8PC 24-240VDC 787302    安全繼電器    PILZ
FTA3901L05    溫度傳感器    Ahlborn Mess- und Regelungstechnik GmbH
FLDP-IM16-0001 No.6825326    總線模塊    Turck
P27000H1-S001    隔離放大器    Knick
VOE-B/8/2/7/7/7/7/7/7/7/7/P    油分配器    WOERNER Smeersystemen BV
VOE-B/6/2/7/7/7/7/7/7/P    油分配器    WOERNER Smeersystemen BV
BC10-QF5,5-AP6X2 Nr:2620117    液位傳感器    Turck
TP3-4121A024M，Nr：084135    安全開關    Euchner
NSP-SW04TPK    流量計    KOBOLD
PSR-11153R15R1    流量計    KOBOLD
PSR-11206R20R1    流量計    KOBOLD
TMA-06416205    流量計    KOBOLD
DUK-11G4HE34RB    流量計    KOBOLD
FW1-020GP011    流量開關    Honsberg
DV3.001.776B    壓力變送器    Montwill GmbH
2832700    交換機    Phoenix
1517916    總線電纜    Phoenix
2989103    以太網交換機    Phoenix
2297057    斷路器    Phoenix
OMNI-F-015GK029S-10    流量計    Honsberg
OMNI-F-015GK077S-13    流量計    Honsberg
NS.COD. 999.192.08150 SERVOAMPL. DMS-08 BF    工件夾具    Baruffaldi
S22_HKP11R;SCHMIDT Kniehebelpresse Nr. 11R    手動壓力機    Schmidt
26.4025/20L    外圓刀座    EWS Weigele
26.4025/20R    外圓刀座    EWS Weigele
FDA5021-D.230V,5S，（Germany）    控制單元    HANS HENNIG
BG06-31/P05LA32-G/EMV-SP,Artikel-Nr.: 171Z181500    電機    Bauer Gear Motor GmbH
Stromrichter SR-A-R-230, Art.-Nr.7115971    電機附件    Bauer Gear Motor GmbH
3rt1017-2kb42    自動控制器    SIEMENS
DS2-1    閥    Hawe
RK 41,DN 80    止回閥    Gestra
RK 41,DN 125    止回閥    Gestra
RK 41,DN 150    止回閥    Gestra
AW1 211 621 07    信號鈴    Funke
RLM60/S135-P-0:1M    傳感器    STM
1700 R 005 BN4HC Nr:1265872    濾芯    hydac
SE534    電極    Knick
MR-015GM010    流量傳感器    Honsberg
PMC10    壓力開關    elettrotec
DM652F 50 * 40ST 22T-2,5GV    減壓閥    Mankenberg GmbH
WH3H-G24/8W    平衡閥    Hawe
F12-060-MF-IV-D-000-000-0    液壓馬達    parker
DR 6 DP1-5X-25Y    電磁閥    Rexroth
PGP502A0016CH1D1NE3E2B1B1(3309111389)    齒輪泵    parker
PGP502B0058CP2D1NE3E2S-502A005(3309121095)    齒輪泵    parker
PGP505A0080CJ1H1NE5E3B1B1（3319111401）    齒輪泵    parker
MI250/NJ25-15M    高溫接近開關    MEL Mikroelektronik GmbH
z809/13/16X1.5    接頭    Hasco
MA24902    數據采集器    Ahlborn Mess- und Regelungstechnik GmbH
901221/40-1043-3-200-000/000    溫度控制器    JUMO
S7-M    底座    Releco
C3-A30X/AC230V    控制器    Releco
S9-M    底座    Releco
RHC-2    液壓閥    Hawe
VP1R-1/4-WG230    液壓閥    Hawe
LB4-F/100    流量計    Hawe
6824260 WAS5-THERMD    總線模塊    Turck
6824089 SDNB-04A-007    總線模塊    Turck
MS96-12R/24VDC Nr:5231007    隔離器    Turck
8526-6100    壓力傳感器    Burster Praezisionsmesstechnik GmbH & Co KG
VG1/8    閥門    Sommer-automatic GmbH & Co. KG
A5240/1004/.012 AU700004    電磁閥    GSR-Ventiltechnik GmbH & Co KG
Art.-Nr.50802 Typ.NTS 80/20 d1=80mm h1=32mm    支撐頭    Isoloc
Art.-Nr.70562 Typ.NTS 50 bis NTS100 M20*1.5*150mm    連桿    Isoloc
SPY-LIZER extern mic activ frequency equalizer    均衡器    SPYLIZER
RC2    閥門    Hawe
WGR2-2-WG230    閥門    Hawe
RH1    閥門    Hawe
SDPB-40A-1007 Nr:6824439    模擬量輸入模塊    Turck
SDPB-0008D-1004 Nr:6824420    輸出模塊    Turck
RSSW-RKSW458-5M    DP電纜    Turck
IPSWKP4-5-SWSP4/S90 Nr:6900319    電源電纜    Turck
8.5868.2132.3112    編碼器    KUEBLER
121213670    變送器    technotrans AG
AZ/AZM 200-B30-RTAG1P1    感應傳感器    SCHMERSAL
SPS12103    電源    profitec
WDPFA06-ADB-V-16-G24/D1    閥    wandfluh
FGN36AA630NNF+FGRJ3NN0630    接近開關    AEG
4.3519.00.141    風速儀    ADOLF THIES GmbH & Co. KG
AES 1235    感應傳感器    SCHMERSAL
RUN70-M18K-AP8X-H1141 Nr:1830035    接近開關    Turck
WWAK4-2/P00 Nr:8007148    線纜    Turck
6905 117 F2    濾芯    Hawe
KM-020GK016    流量調節器    Honsberg
KM-020GK030    流量調節器    Honsberg
KM-020GK020    流量調節器    Honsberg
Siebplatte No.20539230    篩板（功能板）    Lorentzen & Wettre
Zahnriemen No.91201004    皮帶    Lorentzen & Wettre
420311 NR:15300116    壓力傳感器    Bedia
420312 NR:15300119    壓力傳感器    Bedia
1511Z07-038.014    精密角度位移傳感器    FSG
RS-23S10C-6A12B-17M23    編碼器    Turck
11191030    鉆頭    HAHN+KOLB
DKZOR-AE-173-S5.10    比例換向閥    ATOS
DPZO-AE-373-S5.32    比例換向閥    ATOS
DPZO-AE-373-S5/E.31    比例換向閥    ATOS
DPZO-AE-273-S5/E31    比例換向閥    ATOS
A401N-PH/0    PH計    Knick analytics
A401N-cond/0    電導率儀    Knick analytics
A401N-condI/0    電導率儀    Knick analytics
FCS-G1/2A4-AP8X-H1141 Nr:6870004    流量開關    Turck
BA328C    流量指示器    Mitex GmbH
EFK2-008HK029OS(1-150cm/s)    流量開關    Honsberg
MT12W Id.:231011-03    光柵尺    heidenhain
KST 2-40 (168137)    碳刷(相)    Vahle GmbH & Co. KG
KST 2-40 (168138)    碳刷(地)    Vahle GmbH & Co. KG
KMK 30-55 PH;ST0154440    碳刷    Vahle GmbH & Co. KG
KMK 30-55 PE;ST0154453    碳刷    Vahle GmbH & Co. KG
Z5-2    扣機    STRACK
Z5-2-(1.2.4.6.8.9.12.17.18.19.20)    扣機    STRACK
Z5140-0    行位扣    STRACK
6157BA    壓力傳感器    kistler
MEM56ST    制動器    Corbetta
CSTN 1000 Art.No.717679    變壓器    Ismet
STB55-5000-000    溫控器    PMA
B94014002 RCM420-D-2    絕緣檢測儀    Bender
B911731 W1-S35    互感器    Bender
46328180 VMY160L06NN1PXG056    減壓閥    parker
IKL015.38 G 2319P-15    傳感器    Proxitron
GL80 9/1 LB DA 14X30 50-70    減速機    SPEEDERMOTION
BI20-CP40-VP4X2 5692    傳感器    Turck
IM1-451EX-R No.7541188    安全柵    Turck
MK33-221EX0-HLI/24VDC No.7506431    安全柵    Turck
NI8U-M12-AP6X-H1141 644140    接近開關    Turck
BI15U-CP40-VN4X2/S10 540511    傳感器    Turck
BI15-CP40-Y1X 0110    接近開關    Turck
NI60-K90SR-VP4X2 5640    傳感器    Turck
DNI12U-M18E-AP4X3 582235    傳感器    Turck
NI12U-M18-AP6X 645100    接近開關    Turck
NI50-K90SR-Y1 0074    接近開關    Turck
VB60.5-CS19 No.6999161    總線模塊    Turck
BI1,5-EG08K-Y1 003600    接近開關    Turck
NI8-EM18-VP4X-H1141 S-NR: 1561901    接近開關    Turck
LP60S 14 WEGE Artikel.6261637(345)    滑環    Stemmann
LP60SL 40 WEGE Artikel.6262274(345)    滑環    Stemmann
NM701NR3    編碼器    Konecranes GmbH
XPSAV11113    安全模塊    emecanique
XPSAC5121    安全模塊    emecanique
XPSECME5131C    安全模塊    emecanique
RVM-008GM300    流量開關    Honsberg
8.5850.1241.G102    編碼器    KUEBLER
K542 Artikel:254200998    馬達    Gefeg-neckar
MTO-2-55-EA7    馬達    Jahns
SL3003/X1/GS80/K/01    編碼器    FSG
33G7-77-S-35    流量計    HYDROTECHNIK
3107-00-S-26.00 HYDROTECHNIK    流量傳感器    HYDROTECHNIK
ADZ-SML-10.0 (0…100)bar 0.25% G1/4"    壓力傳感器    ADZ NAGANO GmbH
EVL 12 3603 L7 W 110    電子鎮流器    eckerle
774549 PNOZ X13 24VDC 5n/o 1n/c    控制器    PILZ
774606 PNOZ X9 200-230VAC 24VDC 7n/o 2n/c 2so    控制器    PILZ
MAYR Art.-Nr.:7017231    電磁離合器    Mayr
9407-998-00031    有接頭電纜    PMA Prozess- und Maschinen-Automation GmbH
HD 650 D    封口機    Hawo
SealCheck med Art. Nr. 6.061.017    封口機附件    Hawo
6ES7960-1AA00-0XA0    模塊    SIEMENS
UPA2,0-400bar,No.0431-314    壓力傳感器    BARKSDALE
ADW4M11    模塊    Schneider Electric Energy GmbH
XD2CG1111    模塊    Schneider Electric Energy GmbH
XCSM3715L2    模塊    Schneider Electric Energy GmbH
60110    模塊    Schneider Electric Energy GmbH
60106    模塊    Schneider Electric Energy GmbH
PGH474 B95018012    絕緣故障測試儀    Bender
901.21111L4    壓力測試單元    Beck GmbH
IKL015.38GS4    接近開關    Proxitron
RZMO-TERS-PS-030-100    閥門    ATOS
DP-3113    閥門    ATOS
ERZLK-28-300    機械密封    RENK
ERZLQ-28-300    機械密封    RENK
EFK2-008HK028(1-150cm/s) relay contact(NO)    流量開關    Honsberg
8499720.9169.024.00    電磁閥    Buschjost
PWF 1/60 PT-100 2000AS    壓力變送器    Ihne&Tesch
IRDH275-435,AC88-264V    絕緣監測儀    Bender
9243    放大器    Burster Praezisionsmesstechnik GmbH & Co KG
KAS-80-A13-A-K-PTFE-Y3    接近開關    Rechner
Artikel-Nr.170M7907 1250V / 2500A Gr.4SBKN/105    模塊    bussmann
3LD21654VD51    壓力開關    SIEMENS
AN450    電源模塊    Bender
107TD47    絕緣監視儀    Bender
STW2    電流互感器    Bender
ES710/8000    隔離變壓器    Bender
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861-900110-1024    編碼器    Leine & Linde
IKZ182.23GH    接近開關    Proxitron
D-175    彈簧    GUTEKUNST
DRE6-1X/100MG24K4M    比例減壓閥    Rexroth
4WRZ16E150-70/6EG24N9ETK4D3M    比例換向閥    Rexroth
VPB-B/6/0/0/M3/09/20/20/P    分配器    Woerner
MKSHF 32 / i=12 / BA70 Artikel-Nummer：298239    齒輪箱    Vogel
MKSHF 32 / i=12 / BA70 Artikel-Nummer：298240    齒輪箱    Vogel
FNL DP/DPV1Master,NR.4000-7-G04-3    總線模塊    COMSOFT
BOS 18KW-PA-1QC-S4-C    光電開關    balluff
16.0650 NR-33KS    放大器    monacor
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562150 KS-250-M22 mit 5 m Kabel    傳感器    Rechner
OD131051300000    閥    Rexroth
OD02170130OC    接頭    Rexroth
VT-VRRA1-527-20/V0/2STV    放大板    Rexroth
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RCMS471-12 B94052006    剩余電流評估儀    Bender
B911787 W0-S20    互感器    Bender
38022    PROFIBUS網絡檢測儀    PROCENTEC GmbH
HDA 3845-A-400-000    壓力變送器    hydac
nr.71070121 TRUMPF Stempel fuer TruTool N500    工具件    HAHN+KOLB
83731 3Mcable    接近開關    CROUZET
ENI 38E.1262.1000.1M    編碼器    MICRONOR
art nr.40183    壓力傳感器    STW
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EK501USOM140 903649    減速電機    Stoeber
SPANNEINHEIT SEH100/850IK(1026437)    工件夾具    Rohm GmbH
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1A200MG4018PP DN04/06;G1/8``    接頭    EM-TECHNIK
1A200MG4318PP DN06/08;G1/8``    接頭    EM-TECHNIK
1A200MG4538PP DN08/10;G3/8``    接頭    EM-TECHNIK
1A200MG4314PP DN06/08;G1/4``    接頭    EM-TECHNIK
1A200MG4014PP DN04/06;G1/4``    接頭    EM-TECHNIK
1A200MG4514PP DN08/10;G1/4``    接頭    EM-TECHNIK
MSD1/625S20-1L01    編碼器    TWK
533631-03    有接頭電纜    heidenhain
9407-9240-0001    溫度控制器    PMA
Nr21080008 OLV554001A00    模塊    kendrion
0100 S 125 W    濾芯    hydac
0660 R 020 BN4HC    濾芯    hydac
0660 D 010 BH4HC order 253106    濾芯    hydac
VM-025GR060 setting 20l/min 320mm2/s Art. Nr. 945196    流量計    Honsberg
AB7632-C    通訊模塊    anybus
AB9006-B    通訊模塊    anybus
0240 D005 BN4HC    濾芯    hydac
0660 D 003 BN4HC    濾芯    hydac
XD2PA22    搖桿開關    emecanique
XD2PA24    搖桿開關    emecanique
FPM 27 355-053-01 95770090    電源    Kniel
E-ME-AC-01F    放大器    ATOS
AGRCZO-A-010/315+SP-666    液壓閥    ATOS
AGMZO-A-010/350+SP-666    液壓閥    ATOS
LIMHA-3/350 -24VDC+SP-667    液壓閥    ATOS
SCLI-32-35/6    液壓閥    ATOS
LIDD-3    液壓閥    ATOS
SCLI-32-32/2    液壓閥    ATOS
AGRCZO-A-010/100+SP-666    液壓閥    ATOS
DHZO-TE-071-L5    液壓閥    ATOS
2600 R 010 BN4HC    濾芯    hydac
0660 R 005 BN4HC    濾芯    hydac
0950 R 005 BN4HC    濾芯    hydac
2600 R 003 BN4HC    濾芯    hydac
2600 R 003 BN4HC    濾芯    hydac
0500 D 010 BN4HC    濾芯    hydac
0660 D 005 BN4HC    濾芯    hydac
1300 R 020 BN4HC    濾芯    hydac
2600 R 003 BN4HC    濾芯    hydac
2600 R 003 BN4HC    濾芯    hydac
0500 D 005 BN4HC    濾芯    hydac
0950 R 003 BN4HC    濾芯    hydac
1300 R 010 BN4HC    濾芯    hydac
2600 R 005 BN4HC    濾芯    hydac
0240 D 003 BN4HC    濾芯    hydac
AIN1/410ca-1.60-230VAC 1A(E2)    繼電器    Klaschka
AIN1/410ca-1.60-230VAC 5A(E1)    繼電器    Klaschka
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1635523BI5U-Q12-AN6X2    接近開關    Turck
E-1048-S602-DC24V-2A    電子開關    ETA
17-P10-Si    插座    ETA
FCV7-10-S-0-NV M849    安全閥    Vickers
PI 2005-057    過濾器    Mahle
BI20-CP40-VP4X2 Nr:15692    接近開關    Turck
SGDH-30DE-OY(400V)    電源模塊    OMRON
E3-10/DO46-141L 211194-1    電機    BAUER
MGB-L1-APA-AA6A1-S3-R-110585    安全開關    Euchner
MGB-H-AA1A1-R-100464    安全開關    Euchner
PV023R1K1T1NMF1    柱塞泵    parker
Artikel 003290 Pneumatikantrieb DR00060    執行器    LIAG
550 20 D17 37 5 1 3G1    閥門    Gemue
DCM3-217B-S    壓力開關    FEMA
S25-GL15,A,Oil,6-30 L/Min    流量計    Eletta Flow
433718    卡盤    Roehm GmbH
TMIW-2    溫度傳感器    Fonovits
QT20.241    電源    Puls
LS 177 1140,ID:605352-37    光柵尺    heidenhain
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LS 177 740,ID:605352-31    光柵尺    heidenhain
0TB014 01, ID:354319-08    電纜    heidenhain
LF 183 340,ID:348225-29    光柵尺    heidenhain
APK 02 05,ID:310127-06    電纜    heidenhain
IBV 102 TTLx50,ID:536422-20    光柵尺    heidenhain
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RON 275 18000，ID:358698-69    光柵尺    heidenhain
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02B012 01,ID:309777-06    電纜    heidenhain
0110 D 010 BH4HC    濾芯    hydac

。標尺光柵一般固定在機床固定部件上，光柵讀數頭裝在機床活動部件上，指示光柵裝在光柵讀數頭中。右圖所示的就是光柵尺的結構。

光柵檢測裝置的關鍵部分是光柵讀數頭，它由光源、會聚透鏡、指示光柵、光電元件及調整機構等組成。光柵讀數頭結構形式很多，根據讀數頭結構特點和使用場合分為直接接收式讀數頭(或稱硅光電池讀數頭、鏡像式讀數頭、分光鏡式讀數頭、金屬光柵反射式讀數頭）。

 光柵檢測裝置

光柵尺工作原理
編輯

光柵尺莫爾條紋
以透射光柵為例，當指示光柵上的線紋和標尺光柵上的線紋之間形成一個小角度θ，并且兩個光柵尺刻面相對平行放置時，在光源的照射下，位于幾乎垂直的柵紋上，形成明暗相間的條紋。這種條紋稱為“莫爾條紋” (右圖所示)。嚴格地說，莫爾條紋排列的方向是與兩片光柵線紋夾角的平分線相垂直。莫爾條紋中兩條亮紋或兩條暗紋之間的距離稱為莫爾條紋的寬度，以W表示。

 莫爾條紋

W=ω /2* sin（θ /2）=ω /θ 。

莫爾條紋具有以下特征：

(1)莫爾條紋的變化規律

兩片光柵相對移過一個柵距，莫爾條紋移過一個條紋距離。由于光的衍射與干涉作用，莫爾條紋的變化規律近似正(余)弦函數，變化周期數與光柵相對位移的柵距數同步。

(2)放大作用

在兩光柵柵線夾角較小的情況下，莫爾條紋寬度W和光柵柵距ω、柵線角θ之間有下列關系。式中，θ的單位為rad，W的單位為mm。由于傾角很小，sinθ很小，則

W=ω /θ

若ω =0．01mm，θ=0.01rad，則上式可得W=1，即光柵放大了100倍。

(3)均化誤差作用

莫爾條紋是由若干光柵條紋共用形成，例如每毫米100線的光柵，10mm寬度的莫爾條紋就有1000條線紋，這樣柵距之間的相鄰誤差就被平均化了，消除了由于柵距不均勻、斷裂等造成的誤差。

光柵尺檢測與數據處理
電子細分與判向法

光柵測量位移的實質是以光柵柵距為一把標準尺子對位稱量進行測量。高分辨率的光柵尺一般造價較貴，且制造困難。為了提高系統分辨率，需要對莫爾條紋進行細分，光柵尺傳感器系統多采用電子細分方法。當兩塊光柵以微小傾角重疊時，在與光柵刻線大致垂直的方向上就會產生莫爾條紋，隨著光柵的移動，莫爾條紋也隨之上下移動。這樣就把對光柵柵距的測量轉換為對莫爾條紋個數的測量。

在一個莫爾條紋寬度內，按照一定間隔放置4個光電器件就能實現電子細分與判向功能。例如，柵線為50線對/mm的光柵尺，其光柵柵距為0.02mm，若采用四細分后便可得到分辨率為5μm的計數脈沖，這在工業普通測控中已達到了很高精度。由于位移是一個矢量，即要檢測其大小，又要檢測其方向，因此至少需要兩路相位不同的光電信號。為了消除共模干擾、直流分量和偶次諧波，通常采用由低漂移運放構成的差分放大器。由4個光敏器件獲得的4路光電信號分別送到2只差分放大器輸入端，從差分放大器輸出的兩路信號其相位差為π/2，為得到判向和計數脈沖，需對這兩路信號進行整形，首先把它們整形為占空比為1：1的方波。然后，通過對方波的相位進行判別比較，就可以得到光柵尺的移動方向。通過對方波脈沖進行計數，可以得到光柵尺的位移和速度 [1]  。

光柵尺安裝指導
編輯

光柵尺線位移傳感器的安裝比較靈活，可安裝在機床的不同部位。

一般將主尺安裝在機床的工作臺（滑板）上，隨機床走刀而動，讀數頭固定在床身上，盡可能使讀數頭安裝在主尺的下方。其安裝方式的選擇必須注意切屑、切削液及油液的濺落方向。如果由于安裝位置限制必須采用讀數頭朝上的方式安裝時，則必須增加輔助密封裝置。另外，一般情況下，讀數頭應盡量安裝在相對機床靜止部件上，此時輸出導線不移動易固定，而尺身則應安裝在相對機床運動的部件上（如滑板）。

1、光柵尺線位移傳感器安裝基面

安裝光柵尺傳感器時，不能直接將傳感器安裝在粗糙不平的機床身上，更不能安裝在打底涂漆的機床身上。光柵主尺及讀數頭分別安裝在機床相對運動的兩個部件上。用千分表檢查機床工作臺的主尺安裝面與導軌運動的方向平行度。千分表固定在床身上，移動工作臺，要求達到平行度為0.1mm/1000mm以內。如果不能達到這個要求，則需設計加工一件光柵尺基座。

基座要求做到：(1)應加一根與光柵尺尺身長度相等的基座（好基座長出光柵尺50mm左右）。(2)該基座通過銑、磨工序加工，保證其平面平行度0.1mm/1000mm以內。另外，還需加工一件與尺身基座等高的讀數頭基座。讀數頭的基座與尺身的基座總共誤差不得大于±0.2mm。安裝時，調整讀數頭位置，達到讀數頭與光柵尺尺身的平行度為0.1mm左右，讀數頭與光柵尺尺身之間的間距為1~1.5mm左右。

2、光柵尺線位移傳感器主尺安裝

將光柵主尺用M4螺釘上在機床安裝的工作臺安裝面上，但不要上緊，把千分表固定在床身上，移動工作臺（主尺與工作臺同時移動）。用千分表測量主尺平面與機床導軌運動方向的平行度，調整主尺M4螺釘位置，使主尺平行度滿足0.1mm/1000mm以內時，把M2螺釘*上緊。

在安裝光柵主尺時，應注意如下三點：

(1) 在裝主尺時，如安裝超過1.5M以上的光柵時，不能象橋梁式只安裝兩端頭，尚需在整個主尺尺身中有支撐。(2)在有基座情況下安裝好后，好用一個卡子卡住尺身中點（或幾點）。(3)不能安裝卡子時，好用玻璃膠粘住光柵尺身，使基尺與主尺固定好。

3、光柵尺線位移傳感器讀數頭的安裝

在安裝讀數頭時，首先應保證讀數頭的基面達到安裝要求，然后再安裝讀數頭，其安裝方法與主尺相似。后調整讀數頭，使讀數頭與光柵主尺平行度保證在0.1mm之內，其讀數頭與主尺的間隙控制在1~1.5mm以內。

4、光柵尺線位移傳感器限位裝置

光柵線位移傳感器全部安裝完以后，一定要在機床導軌上安裝限位裝置，以免機床加工產品移動時讀數頭沖撞到主尺兩端，從而損壞光柵尺。另外，用戶在選購光柵線位移傳感器時，應盡量選用超出機床加工尺寸100mm左右的光柵尺，以留有余量。

5、光柵尺線位移傳感器檢查

光柵線位移傳感器安裝完畢后，可接通數顯表，移動工作臺，觀察數顯表計數是否正常。

在機床上選取一個參考位置，來回移動工作點至該選取的位置。數顯表讀數應相同（或回零）。另外也可使用千分表（或百分表），使千分表與數顯表同時調至零（或記憶起始數據），往返多次后回到初始位置，觀察數顯表與千分表的數據是否*。

通過以上工作，光柵尺線位移傳感器的安裝就完成了。但對于一般的機床加工環境來講，鐵屑、切削液及油污較多。因此，傳感器應附帶加裝護罩，護罩的設計是按照傳感器的外形截面放大留一定的空間尺寸確定，護罩通常采用橡皮密封，使其具備一定的防水防油能力 [2]  。。標尺光柵一般固定在機床固定部件上，光柵讀數頭裝在機床活動部件上，指示光柵裝在光柵讀數頭中。右圖所示的就是光柵尺的結構。

光柵檢測裝置的關鍵部分是光柵讀數頭，它由光源、會聚透鏡、指示光柵、光電元件及調整機構等組成。光柵讀數頭結構形式很多，根據讀數頭結構特點和使用場合分為直接接收式讀數頭(或稱硅光電池讀數頭、鏡像式讀數頭、分光鏡式讀數頭、金屬光柵反射式讀數頭）。

 光柵檢測裝置

光柵尺工作原理
編輯

光柵尺莫爾條紋
以透射光柵為例，當指示光柵上的線紋和標尺光柵上的線紋之間形成一個小角度θ，并且兩個光柵尺刻面相對平行放置時，在光源的照射下，位于幾乎垂直的柵紋上，形成明暗相間的條紋。這種條紋稱為“莫爾條紋” (右圖所示)。嚴格地說，莫爾條紋排列的方向是與兩片光柵線紋夾角的平分線相垂直。莫爾條紋中兩條亮紋或兩條暗紋之間的距離稱為莫爾條紋的寬度，以W表示。

 莫爾條紋

W=ω /2* sin（θ /2）=ω /θ 。

莫爾條紋具有以下特征：

(1)莫爾條紋的變化規律

兩片光柵相對移過一個柵距，莫爾條紋移過一個條紋距離。由于光的衍射與干涉作用，莫爾條紋的變化規律近似正(余)弦函數，變化周期數與光柵相對位移的柵距數同步。

(2)放大作用

在兩光柵柵線夾角較小的情況下，莫爾條紋寬度W和光柵柵距ω、柵線角θ之間有下列關系。式中，θ的單位為rad，W的單位為mm。由于傾角很小，sinθ很小，則

W=ω /θ

若ω =0．01mm，θ=0.01rad，則上式可得W=1，即光柵放大了100倍。

(3)均化誤差作用

莫爾條紋是由若干光柵條紋共用形成，例如每毫米100線的光柵，10mm寬度的莫爾條紋就有1000條線紋，這樣柵距之間的相鄰誤差就被平均化了，消除了由于柵距不均勻、斷裂等造成的誤差。

光柵尺檢測與數據處理
電子細分與判向法

光柵測量位移的實質是以光柵柵距為一把標準尺子對位稱量進行測量。高分辨率的光柵尺一般造價較貴，且制造困難。為了提高系統分辨率，需要對莫爾條紋進行細分，光柵尺傳感器系統多采用電子細分方法。當兩塊光柵以微小傾角重疊時，在與光柵刻線大致垂直的方向上就會產生莫爾條紋，隨著光柵的移動，莫爾條紋也隨之上下移動。這樣就把對光柵柵距的測量轉換為對莫爾條紋個數的測量。

在一個莫爾條紋寬度內，按照一定間隔放置4個光電器件就能實現電子細分與判向功能。例如，柵線為50線對/mm的光柵尺，其光柵柵距為0.02mm，若采用四細分后便可得到分辨率為5μm的計數脈沖，這在工業普通測控中已達到了很高精度。由于位移是一個矢量，即要檢測其大小，又要檢測其方向，因此至少需要兩路相位不同的光電信號。為了消除共模干擾、直流分量和偶次諧波，通常采用由低漂移運放構成的差分放大器。由4個光敏器件獲得的4路光電信號分別送到2只差分放大器輸入端，從差分放大器輸出的兩路信號其相位差為π/2，為得到判向和計數脈沖，需對這兩路信號進行整形，首先把它們整形為占空比為1：1的方波。然后，通過對方波的相位進行判別比較，就可以得到光柵尺的移動方向。通過對方波脈沖進行計數，可以得到光柵尺的位移和速度 [1]  。

光柵尺安裝指導
編輯

光柵尺線位移傳感器的安裝比較靈活，可安裝在機床的不同部位。

一般將主尺安裝在機床的工作臺（滑板）上，隨機床走刀而動，讀數頭固定在床身上，盡可能使讀數頭安裝在主尺的下方。其安裝方式的選擇必須注意切屑、切削液及油液的濺落方向。如果由于安裝位置限制必須采用讀數頭朝上的方式安裝時，則必須增加輔助密封裝置。另外，一般情況下，讀數頭應盡量安裝在相對機床靜止部件上，此時輸出導線不移動易固定，而尺身則應安裝在相對機床運動的部件上（如滑板）。

1、光柵尺線位移傳感器安裝基面

安裝光柵尺傳感器時，不能直接將傳感器安裝在粗糙不平的機床身上，更不能安裝在打底涂漆的機床身上。光柵主尺及讀數頭分別安裝在機床相對運動的兩個部件上。用千分表檢查機床工作臺的主尺安裝面與導軌運動的方向平行度。千分表固定在床身上，移動工作臺，要求達到平行度為0.1mm/1000mm以內。如果不能達到這個要求，則需設計加工一件光柵尺基座。

基座要求做到：(1)應加一根與光柵尺尺身長度相等的基座（好基座長出光柵尺50mm左右）。(2)該基座通過銑、磨工序加工，保證其平面平行度0.1mm/1000mm以內。另外，還需加工一件與尺身基座等高的讀數頭基座。讀數頭的基座與尺身的基座總共誤差不得大于±0.2mm。安裝時，調整讀數頭位置，達到讀數頭與光柵尺尺身的平行度為0.1mm左右，讀數頭與光柵尺尺身之間的間距為1~1.5mm左右。

2、光柵尺線位移傳感器主尺安裝

將光柵主尺用M4螺釘上在機床安裝的工作臺安裝面上，但不要上緊，把千分表固定在床身上，移動工作臺（主尺與工作臺同時移動）。用千分表測量主尺平面與機床導軌運動方向的平行度，調整主尺M4螺釘位置，使主尺平行度滿足0.1mm/1000mm以內時，把M2螺釘*上緊。

在安裝光柵主尺時，應注意如下三點：

(1) 在裝主尺時，如安裝超過1.5M以上的光柵時，不能象橋梁式只安裝兩端頭，尚需在整個主尺尺身中有支撐。(2)在有基座情況下安裝好后，好用一個卡子卡住尺身中點（或幾點）。(3)不能安裝卡子時，好用玻璃膠粘住光柵尺身，使基尺與主尺固定好。

3、光柵尺線位移傳感器讀數頭的安裝

在安裝讀數頭時，首先應保證讀數頭的基面達到安裝要求，然后再安裝讀數頭，其安裝方法與主尺相似。后調整讀數頭，使讀數頭與光柵主尺平行度保證在0.1mm之內，其讀數頭與主尺的間隙控制在1~1.5mm以內。

4、光柵尺線位移傳感器限位裝置

光柵線位移傳感器全部安裝完以后，一定要在機床導軌上安裝限位裝置，以免機床加工產品移動時讀數頭沖撞到主尺兩端，從而損壞光柵尺。另外，用戶在選購光柵線位移傳感器時，應盡量選用超出機床加工尺寸100mm左右的光柵尺，以留有余量。

5、光柵尺線位移傳感器檢查

光柵線位移傳感器安裝完畢后，可接通數顯表，移動工作臺，觀察數顯表計數是否正常。

在機床上選取一個參考位置，來回移動工作點至該選取的位置。數顯表讀數應相同（或回零）。另外也可使用千分表（或百分表），使千分表與數顯表同時調至零（或記憶起始數據），往返多次后回到初始位置，觀察數顯表與千分表的數據是否*。

通過以上工作，光柵尺線位移傳感器的安裝就完成了。但對于一般的機床加工環境來講，鐵屑、切削液及油污較多。因此，傳感器應附帶加裝護罩，護罩的設計是按照傳感器的外形截面放大留一定的空間尺寸確定，護罩通常采用橡皮密封，使其具備一定的防水防油能力 [2]  。。標尺光柵一般固定在機床固定部件上，光柵讀數頭裝在機床活動部件上，指示光柵裝在光柵讀數頭中。右圖所示的就是光柵尺的結構。

光柵檢測裝置的關鍵部分是光柵讀數頭，它由光源、會聚透鏡、指示光柵、光電元件及調整機構等組成。光柵讀數頭結構形式很多，根據讀數頭結構特點和使用場合分為直接接收式讀數頭(或稱硅光電池讀數頭、鏡像式讀數頭、分光鏡式讀數頭、金屬光柵反射式讀數頭）。

 光柵檢測裝置

光柵尺工作原理
編輯

光柵尺莫爾條紋
以透射光柵為例，當指示光柵上的線紋和標尺光柵上的線紋之間形成一個小角度θ，并且兩個光柵尺刻面相對平行放置時，在光源的照射下，位于幾乎垂直的柵紋上，形成明暗相間的條紋。這種條紋稱為“莫爾條紋” (右圖所示)。嚴格地說，莫爾條紋排列的方向是與兩片光柵線紋夾角的平分線相垂直。莫爾條紋中兩條亮紋或兩條暗紋之間的距離稱為莫爾條紋的寬度，以W表示。

 莫爾條紋

W=ω /2* sin（θ /2）=ω /θ 。

莫爾條紋具有以下特征：

(1)莫爾條紋的變化規律

兩片光柵相對移過一個柵距，莫爾條紋移過一個條紋距離。由于光的衍射與干涉作用，莫爾條紋的變化規律近似正(余)弦函數，變化周期數與光柵相對位移的柵距數同步。

(2)放大作用

在兩光柵柵線夾角較小的情況下，莫爾條紋寬度W和光柵柵距ω、柵線角θ之間有下列關系。式中，θ的單位為rad，W的單位為mm。由于傾角很小，sinθ很小，則

W=ω /θ

若ω =0．01mm，θ=0.01rad，則上式可得W=1，即光柵放大了100倍。

(3)均化誤差作用

莫爾條紋是由若干光柵條紋共用形成，例如每毫米100線的光柵，10mm寬度的莫爾條紋就有1000條線紋，這樣柵距之間的相鄰誤差就被平均化了，消除了由于柵距不均勻、斷裂等造成的誤差。

光柵尺檢測與數據處理
電子細分與判向法

光柵測量位移的實質是以光柵柵距為一把標準尺子對位稱量進行測量。高分辨率的光柵尺一般造價較貴，且制造困難。為了提高系統分辨率，需要對莫爾條紋進行細分，光柵尺傳感器系統多采用電子細分方法。當兩塊光柵以微小傾角重疊時，在與光柵刻線大致垂直的方向上就會產生莫爾條紋，隨著光柵的移動，莫爾條紋也隨之上下移動。這樣就把對光柵柵距的測量轉換為對莫爾條紋個數的測量。

在一個莫爾條紋寬度內，按照一定間隔放置4個光電器件就能實現電子細分與判向功能。例如，柵線為50線對/mm的光柵尺，其光柵柵距為0.02mm，若采用四細分后便可得到分辨率為5μm的計數脈沖，這在工業普通測控中已達到了很高精度。由于位移是一個矢量，即要檢測其大小，又要檢測其方向，因此至少需要兩路相位不同的光電信號。為了消除共模干擾、直流分量和偶次諧波，通常采用由低漂移運放構成的差分放大器。由4個光敏器件獲得的4路光電信號分別送到2只差分放大器輸入端，從差分放大器輸出的兩路信號其相位差為π/2，為得到判向和計數脈沖，需對這兩路信號進行整形，首先把它們整形為占空比為1：1的方波。然后，通過對方波的相位進行判別比較，就可以得到光柵尺的移動方向。通過對方波脈沖進行計數，可以得到光柵尺的位移和速度 [1]  。

光柵尺安裝指導
編輯

光柵尺線位移傳感器的安裝比較靈活，可安裝在機床的不同部位。

一般將主尺安裝在機床的工作臺（滑板）上，隨機床走刀而動，讀數頭固定在床身上，盡可能使讀數頭安裝在主尺的下方。其安裝方式的選擇必須注意切屑、切削液及油液的濺落方向。如果由于安裝位置限制必須采用讀數頭朝上的方式安裝時，則必須增加輔助密封裝置。另外，一般情況下，讀數頭應盡量安裝在相對機床靜止部件上，此時輸出導線不移動易固定，而尺身則應安裝在相對機床運動的部件上（如滑板）。

1、光柵尺線位移傳感器安裝基面

安裝光柵尺傳感器時，不能直接將傳感器安裝在粗糙不平的機床身上，更不能安裝在打底涂漆的機床身上。光柵主尺及讀數頭分別安裝在機床相對運動的兩個部件上。用千分表檢查機床工作臺的主尺安裝面與導軌運動的方向平行度。千分表固定在床身上，移動工作臺，要求達到平行度為0.1mm/1000mm以內。如果不能達到這個要求，則需設計加工一件光柵尺基座。

基座要求做到：(1)應加一根與光柵尺尺身長度相等的基座（好基座長出光柵尺50mm左右）。(2)該基座通過銑、磨工序加工，保證其平面平行度0.1mm/1000mm以內。另外，還需加工一件與尺身基座等高的讀數頭基座。讀數頭的基座與尺身的基座總共誤差不得大于±0.2mm。安裝時，調整讀數頭位置，達到讀數頭與光柵尺尺身的平行度為0.1mm左右，讀數頭與光柵尺尺身之間的間距為1~1.5mm左右。

2、光柵尺線位移傳感器主尺安裝

將光柵主尺用M4螺釘上在機床安裝的工作臺安裝面上，但不要上緊，把千分表固定在床身上，移動工作臺（主尺與工作臺同時移動）。用千分表測量主尺平面與機床導軌運動方向的平行度，調整主尺M4螺釘位置，使主尺平行度滿足0.1mm/1000mm以內時，把M2螺釘*上緊。

在安裝光柵主尺時，應注意如下三點：

(1) 在裝主尺時，如安裝超過1.5M以上的光柵時，不能象橋梁式只安裝兩端頭，尚需在整個主尺尺身中有支撐。(2)在有基座情況下安裝好后，好用一個卡子卡住尺身中點（或幾點）。(3)不能安裝卡子時，好用玻璃膠粘住光柵尺身，使基尺與主尺固定好。

3、光柵尺線位移傳感器讀數頭的安裝

在安裝讀數頭時，首先應保證讀數頭的基面達到安裝要求，然后再安裝讀數頭，其安裝方法與主尺相似。后調整讀數頭，使讀數頭與光柵主尺平行度保證在0.1mm之內，其讀數頭與主尺的間隙控制在1~1.5mm以內。

4、光柵尺線位移傳感器限位裝置

光柵線位移傳感器全部安裝完以后，一定要在機床導軌上安裝限位裝置，以免機床加工產品移動時讀數頭沖撞到主尺兩端，從而損壞光柵尺。另外，用戶在選購光柵線位移傳感器時，應盡量選用超出機床加工尺寸100mm左右的光柵尺，以留有余量。

5、光柵尺線位移傳感器檢查

光柵線位移傳感器安裝完畢后，可接通數顯表，移動工作臺，觀察數顯表計數是否正常。

在機床上選取一個參考位置，來回移動工作點至該選取的位置。數顯表讀數應相同（或回零）。另外也可使用千分表（或百分表），使千分表與數顯表同時調至零（或記憶起始數據），往返多次后回到初始位置，觀察數顯表與千分表的數據是否*。

通過以上工作，光柵尺線位移傳感器的安裝就完成了。但對于一般的機床加工環境來講，鐵屑、切削液及油污較多。因此，傳感器應附帶加裝護罩，護罩的設計是按照傳感器的外形截面放大留一定的空間尺寸確定，護罩通常采用橡皮密封，使其具備一定的防水防油能力 [2]  。。標尺光柵一般固定在機床固定部件上，光柵讀數頭裝在機床活動部件上，指示光柵裝在光柵讀數頭中。右圖所示的就是光柵尺的結構。

光柵檢測裝置的關鍵部分是光柵讀數頭，它由光源、會聚透鏡、指示光柵、光電元件及調整機構等組成。光柵讀數頭結構形式很多，根據讀數頭結構特點和使用場合分為直接接收式讀數頭(或稱硅光電池讀數頭、鏡像式讀數頭、分光鏡式讀數頭、金屬光柵反射式讀數頭）。

 光柵檢測裝置

光柵尺工作原理
編輯

光柵尺莫爾條紋
以透射光柵為例，當指示光柵上的線紋和標尺光柵上的線紋之間形成一個小角度θ，并且兩個光柵尺刻面相對平行放置時，在光源的照射下，位于幾乎垂直的柵紋上，形成明暗相間的條紋。這種條紋稱為“莫爾條紋” (右圖所示)。嚴格地說，莫爾條紋排列的方向是與兩片光柵線紋夾角的平分線相垂直。莫爾條紋中兩條亮紋或兩條暗紋之間的距離稱為莫爾條紋的寬度，以W表示。

 莫爾條紋

W=ω /2* sin（θ /2）=ω /θ 。

莫爾條紋具有以下特征：

(1)莫爾條紋的變化規律

兩片光柵相對移過一個柵距，莫爾條紋移過一個條紋距離。由于光的衍射與干涉作用，莫爾條紋的變化規律近似正(余)弦函數，變化周期數與光柵相對位移的柵距數同步。

(2)放大作用

在兩光柵柵線夾角較小的情況下，莫爾條紋寬度W和光柵柵距ω、柵線角θ之間有下列關系。式中，θ的單位為rad，W的單位為mm。由于傾角很小，sinθ很小，則

W=ω /θ

若ω =0．01mm，θ=0.01rad，則上式可得W=1，即光柵放大了100倍。

(3)均化誤差作用

莫爾條紋是由若干光柵條紋共用形成，例如每毫米100線的光柵，10mm寬度的莫爾條紋就有1000條線紋，這樣柵距之間的相鄰誤差就被平均化了，消除了由于柵距不均勻、斷裂等造成的誤差。

光柵尺檢測與數據處理
電子細分與判向法

光柵測量位移的實質是以光柵柵距為一把標準尺子對位稱量進行測量。高分辨率的光柵尺一般造價較貴，且制造困難。為了提高系統分辨率，需要對莫爾條紋進行細分，光柵尺傳感器系統多采用電子細分方法。當兩塊光柵以微小傾角重疊時，在與光柵刻線大致垂直的方向上就會產生莫爾條紋，隨著光柵的移動，莫爾條紋也隨之上下移動。這樣就把對光柵柵距的測量轉換為對莫爾條紋個數的測量。

在一個莫爾條紋寬度內，按照一定間隔放置4個光電器件就能實現電子細分與判向功能。例如，柵線為50線對/mm的光柵尺，其光柵柵距為0.02mm，若采用四細分后便可得到分辨率為5μm的計數脈沖，這在工業普通測控中已達到了很高精度。由于位移是一個矢量，即要檢測其大小，又要檢測其方向，因此至少需要兩路相位不同的光電信號。為了消除共模干擾、直流分量和偶次諧波，通常采用由低漂移運放構成的差分放大器。由4個光敏器件獲得的4路光電信號分別送到2只差分放大器輸入端，從差分放大器輸出的兩路信號其相位差為π/2，為得到判向和計數脈沖，需對這兩路信號進行整形，首先把它們整形為占空比為1：1的方波。然后，通過對方波的相位進行判別比較，就可以得到光柵尺的移動方向。通過對方波脈沖進行計數，可以得到光柵尺的位移和速度 [1]  。

光柵尺安裝指導
編輯

光柵尺線位移傳感器的安裝比較靈活，可安裝在機床的不同部位。

一般將主尺安裝在機床的工作臺（滑板）上，隨機床走刀而動，讀數頭固定在床身上，盡可能使讀數頭安裝在主尺的下方。其安裝方式的選擇必須注意切屑、切削液及油液的濺落方向。如果由于安裝位置限制必須采用讀數頭朝上的方式安裝時，則必須增加輔助密封裝置。另外，一般情況下，讀數頭應盡量安裝在相對機床靜止部件上，此時輸出導線不移動易固定，而尺身則應安裝在相對機床運動的部件上（如滑板）。

1、光柵尺線位移傳感器安裝基面

安裝光柵尺傳感器時，不能直接將傳感器安裝在粗糙不平的機床身上，更不能安裝在打底涂漆的機床身上。光柵主尺及讀數頭分別安裝在機床相對運動的兩個部件上。用千分表檢查機床工作臺的主尺安裝面與導軌運動的方向平行度。千分表固定在床身上，移動工作臺，要求達到平行度為0.1mm/1000mm以內。如果不能達到這個要求，則需設計加工一件光柵尺基座。

基座要求做到：(1)應加一根與光柵尺尺身長度相等的基座（好基座長出光柵尺50mm左右）。(2)該基座通過銑、磨工序加工，保證其平面平行度0.1mm/1000mm以內。另外，還需加工一件與尺身基座等高的讀數頭基座。讀數頭的基座與尺身的基座總共誤差不得大于±0.2mm。安裝時，調整讀數頭位置，達到讀數頭與光柵尺尺身的平行度為0.1mm左右，讀數頭與光柵尺尺身之間的間距為1~1.5mm左右。

2、光柵尺線位移傳感器主尺安裝

將光柵主尺用M4螺釘上在機床安裝的工作臺安裝面上，但不要上緊，把千分表固定在床身上，移動工作臺（主尺與工作臺同時移動）。用千分表測量主尺平面與機床導軌運動方向的平行度，調整主尺M4螺釘位置，使主尺平行度滿足0.1mm/1000mm以內時，把M2螺釘*上緊。

在安裝光柵主尺時，應注意如下三點：

(1) 在裝主尺時，如安裝超過1.5M以上的光柵時，不能象橋梁式只安裝兩端頭，尚需在整個主尺尺身中有支撐。(2)在有基座情況下安裝好后，好用一個卡子卡住尺身中點（或幾點）。(3)不能安裝卡子時，好用玻璃膠粘住光柵尺身，使基尺與主尺固定好。

3、光柵尺線位移傳感器讀數頭的安裝

在安裝讀數頭時，首先應保證讀數頭的基面達到安裝要求，然后再安裝讀數頭，其安裝方法與主尺相似。后調整讀數頭，使讀數頭與光柵主尺平行度保證在0.1mm之內，其讀數頭與主尺的間隙控制在1~1.5mm以內。

4、光柵尺線位移傳感器限位裝置

光柵線位移傳感器全部安裝完以后，一定要在機床導軌上安裝限位裝置，以免機床加工產品移動時讀數頭沖撞到主尺兩端，從而損壞光柵尺。另外，用戶在選購光柵線位移傳感器時，應盡量選用超出機床加工尺寸100mm左右的光柵尺，以留有余量。

5、光柵尺線位移傳感器檢查

光柵線位移傳感器安裝完畢后，可接通數顯表，移動工作臺，觀察數顯表計數是否正常。

在機床上選取一個參考位置，來回移動工作點至該選取的位置。數顯表讀數應相同（或回零）。另外也可使用千分表（或百分表），使千分表與數顯表同時調至零（或記憶起始數據），往返多次后回到初始位置，觀察數顯表與千分表的數據是否*。

通過以上工作，光柵尺線位移傳感器的安裝就完成了。但對于一般的機床加工環境來講，鐵屑、切削液及油污較多。因此，傳感器應附帶加裝護罩，護罩的設計是按照傳感器的外形截面放大留一定的空間尺寸確定，護罩通常采用橡皮密封，使其具備一定的防水防油能力 [2]  。。標尺光柵一般固定在機床固定部件上，光柵讀數頭裝在機床活動部件上，指示光柵裝在光柵讀數頭中。右圖所示的就是光柵尺的結構。

光柵檢測裝置的關鍵部分是光柵讀數頭，它由光源、會聚透鏡、指示光柵、光電元件及調整機構等組成。光柵讀數頭結構形式很多，根據讀數頭結構特點和使用場合分為直接接收式讀數頭(或稱硅光電池讀數頭、鏡像式讀數頭、分光鏡式讀數頭、金屬光柵反射式讀數頭）。

 光柵檢測裝置

光柵尺工作原理
編輯

光柵尺莫爾條紋
以透射光柵為例，當指示光柵上的線紋和標尺光柵上的線紋之間形成一個小角度θ，并且兩個光柵尺刻面相對平行放置時，在光源的照射下，位于幾乎垂直的柵紋上，形成明暗相間的條紋。這種條紋稱為“莫爾條紋” (右圖所示)。嚴格地說，莫爾條紋排列的方向是與兩片光柵線紋夾角的平分線相垂直。莫爾條紋中兩條亮紋或兩條暗紋之間的距離稱為莫爾條紋的寬度，以W表示。

 莫爾條紋

W=ω /2* sin（θ /2）=ω /θ 。

莫爾條紋具有以下特征：

(1)莫爾條紋的變化規律

兩片光柵相對移過一個柵距，莫爾條紋移過一個條紋距離。由于光的衍射與干涉作用，莫爾條紋的變化規律近似正(余)弦函數，變化周期數與光柵相對位移的柵距數同步。

(2)放大作用

在兩光柵柵線夾角較小的情況下，莫爾條紋寬度W和光柵柵距ω、柵線角θ之間有下列關系。式中，θ的單位為rad，W的單位為mm。由于傾角很小，sinθ很小，則

W=ω /θ

若ω =0．01mm，θ=0.01rad，則上式可得W=1，即光柵放大了100倍。

(3)均化誤差作用

莫爾條紋是由若干光柵條紋共用形成，例如每毫米100線的光柵，10mm寬度的莫爾條紋就有1000條線紋，這樣柵距之間的相鄰誤差就被平均化了，消除了由于柵距不均勻、斷裂等造成的誤差。

光柵尺檢測與數據處理
電子細分與判向法

光柵測量位移的實質是以光柵柵距為一把標準尺子對位稱量進行測量。高分辨率的光柵尺一般造價較貴，且制造困難。為了提高系統分辨率，需要對莫爾條紋進行細分，光柵尺傳感器系統多采用電子細分方法。當兩塊光柵以微小傾角重疊時，在與光柵刻線大致垂直的方向上就會產生莫爾條紋，隨著光柵的移動，莫爾條紋也隨之上下移動。這樣就把對光柵柵距的測量轉換為對莫爾條紋個數的測量。

在一個莫爾條紋寬度內，按照一定間隔放置4個光電器件就能實現電子細分與判向功能。例如，柵線為50線對/mm的光柵尺，其光柵柵距為0.02mm，若采用四細分后便可得到分辨率為5μm的計數脈沖，這在工業普通測控中已達到了很高精度。由于位移是一個矢量，即要檢測其大小，又要檢測其方向，因此至少需要兩路相位不同的光電信號。為了消除共模干擾、直流分量和偶次諧波，通常采用由低漂移運放構成的差分放大器。由4個光敏器件獲得的4路光電信號分別送到2只差分放大器輸入端，從差分放大器輸出的兩路信號其相位差為π/2，為得到判向和計數脈沖，需對這兩路信號進行整形，首先把它們整形為占空比為1：1的方波。然后，通過對方波的相位進行判別比較，就可以得到光柵尺的移動方向。通過對方波脈沖進行計數，可以得到光柵尺的位移和速度 [1]  。

光柵尺安裝指導
編輯

光柵尺線位移傳感器的安裝比較靈活，可安裝在機床的不同部位。

一般將主尺安裝在機床的工作臺（滑板）上，隨機床走刀而動，讀數頭固定在床身上，盡可能使讀數頭安裝在主尺的下方。其安裝方式的選擇必須注意切屑、切削液及油液的濺落方向。如果由于安裝位置限制必須采用讀數頭朝上的方式安裝時，則必須增加輔助密封裝置。另外，一般情況下，讀數頭應盡量安裝在相對機床靜止部件上，此時輸出導線不移動易固定，而尺身則應安裝在相對機床運動的部件上（如滑板）。

1、光柵尺線位移傳感器安裝基面

安裝光柵尺傳感器時，不能直接將傳感器安裝在粗糙不平的機床身上，更不能安裝在打底涂漆的機床身上。光柵主尺及讀數頭分別安裝在機床相對運動的兩個部件上。用千分表檢查機床工作臺的主尺安裝面與導軌運動的方向平行度。千分表固定在床身上，移動工作臺，要求達到平行度為0.1mm/1000mm以內。如果不能達到這個要求，則需設計加工一件光柵尺基座。

基座要求做到：(1)應加一根與光柵尺尺身長度相等的基座（好基座長出光柵尺50mm左右）。(2)該基座通過銑、磨工序加工，保證其平面平行度0.1mm/1000mm以內。另外，還需加工一件與尺身基座等高的讀數頭基座。讀數頭的基座與尺身的基座總共誤差不得大于±0.2mm。安裝時，調整讀數頭位置，達到讀數頭與光柵尺尺身的平行度為0.1mm左右，讀數頭與光柵尺尺身之間的間距為1~1.5mm左右。

2、光柵尺線位移傳感器主尺安裝

將光柵主尺用M4螺釘上在機床安裝的工作臺安裝面上，但不要上緊，把千分表固定在床身上，移動工作臺（主尺與工作臺同時移動）。用千分表測量主尺平面與機床導軌運動方向的平行度，調整主尺M4螺釘位置，使主尺平行度滿足0.1mm/1000mm以內時，把M2螺釘*上緊。

在安裝光柵主尺時，應注意如下三點：

(1) 在裝主尺時，如安裝超過1.5M以上的光柵時，不能象橋梁式只安裝兩端頭，尚需在整個主尺尺身中有支撐。(2)在有基座情況下安裝好后，好用一個卡子卡住尺身中點（或幾點）。(3)不能安裝卡子時，好用玻璃膠粘住光柵尺身，使基尺與主尺固定好。

3、光柵尺線位移傳感器讀數頭的安裝

在安裝讀數頭時，首先應保證讀數頭的基面達到安裝要求，然后再安裝讀數頭，其安裝方法與主尺相似。后調整讀數頭，使讀數頭與光柵主尺平行度保證在0.1mm之內，其讀數頭與主尺的間隙控制在1~1.5mm以內。

4、光柵尺線位移傳感器限位裝置

光柵線位移傳感器全部安裝完以后，一定要在機床導軌上安裝限位裝置，以免機床加工產品移動時讀數頭沖撞到主尺兩端，從而損壞光柵尺。另外，用戶在選購光柵線位移傳感器時，應盡量選用超出機床加工尺寸100mm左右的光柵尺，以留有余量。

GIGAHERTZ-OPTIK 控制模塊代理

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5、光柵尺線位移傳感器檢查

光柵線位移傳感器安裝完畢后，可接通數顯表，移動工作臺，觀察數顯表計數是否正常。

在機床上選取一個參考位置，來回移動工作點至該選取的位置。數顯表讀數應相同（或回零）。另外也可使用千分表（或百分表），使千分表與數顯表同時調至零（或記憶起始數據），往返多次后回到初始位置，觀察數顯表與千分表的數據是否*。

通過以上工作，光柵尺線位移傳感器的安裝就完成了。但對于一般的機床加工環境來講，鐵屑、切削液及油污較多。因此，傳感器應附帶加裝護罩，護罩的設計是按照傳感器的外形截面放大留一定的空間尺寸確定，護罩通常采用橡皮密封，使其具備一定的防水防油能力 [2]  。