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更新時(shí)間：2025-04-21 10:55:30
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MProbe 60 是一站式系統(tǒng)，專為研發(fā)中心和小型制造而設(shè)計(jì)。它結(jié)合了測(cè)量厚度/n&k 與自動(dòng)化小點(diǎn)測(cè)量的能力。MProbe 60 已應(yīng)用于研發(fā)納米技術(shù)中心。可以快速可靠地測(cè)量 1 nm至 2 mm的厚度，包括多層薄膜堆疊。不同的MProbe 60 型號(hào)主要受光譜儀的波長(zhǎng)范圍和分辨率影響，進(jìn)而決定了可測(cè)量的厚度范圍。
薄膜厚度均勻度測(cè)量系統(tǒng)-MPROBE 60的優(yōu)勢(shì)：
1.具有靈活和模塊化的映射自動(dòng)化的一站式系統(tǒng)
2.精度<0.01nm 或 0.01%
3.500+ 擴(kuò)展材料數(shù)據(jù)庫(kù)
4.軟件：用戶友好且功能豐富的 TFCompanion 軟件甚至可以處理zui復(fù)雜的應(yīng)用程序。層數(shù)沒(méi)有限制，支持背面反射、表面粗糙度、暗度等等。集成的相機(jī)和成像軟件允許精確定位測(cè)量位置并直接在圖像上顯示結(jié)果
薄膜厚度均勻度在線測(cè)量系統(tǒng)-MPROBE 60選型列表：
MProbe 60 | 波長(zhǎng)范圍 | 厚度范圍 |
VISLX | 400nm -1000nm | 10nm – 75μm |
UVVisSR | 200nm-1000nm | 1nm-75μm |
UVVisF | 200nm-900nm | 1nm – 5μm |
VISHR | 700nm -1100nm | 1μm – 400μm |
NIR | 900nm-1700nm | 50nm -100μm |
VISNIR | 400nm -1700nm | 10nm-100μm |
UVVISNIR | 200nm-1700nm | 1nm-100μm |
NIRHR | 1530nm-1580nm | 25μm-2000μm |
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