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Kaleo MultiWAVE多波長動態干涉儀
【KALEO MultiWAVE 簡介】
Phasics在光學計量領域持續創新，推出能夠兼顧測量透射波前誤差和反射波前誤差（TWE / RWE）的革命性新產品：Kaleo MultiWAVE動態干涉儀。 直徑高至5.1英寸（130毫米）的鍍膜和未鍍膜的光學器件可在其工作波長下直接進行測量。 Kaleo MultiWAVE是購買多臺干涉儀或特殊波長干涉儀的有效替代方案，擁有*性價比。 該系統同時可提供媲美Fizeau干涉儀測量精度，及動態干涉儀的抗震性能。
【關于Phasics】
Phasics是一家專注于高分辨率波前傳感技術的法國公司。Phasics公司憑借其在測量方面的專業經驗與*的波前測量技術為客戶提供全面的高性能波前傳感器。
一、 Kaleo MultiWAVE多波長動態干涉儀主要特點
紫外、可見光、近紅外、短波紅外、中遠紅外等任意多波長定制
單臺干涉儀可集成多個工作波長
納米級相位分辨率
超高動態范圍 (>500 條紋數)
二、KALEO MultiWAVE 應用
光學元件及光學系統計量
三、KALEO MultiWAVE 測量案例
四、KALEO MultiWAVE 指標參數(1)
| RMS重復性 (2) | < 0.7 nm (< λ / 900) |
| 測量精度 | 80 nm PV (3) |
| 動態范圍（離焦值） | 500 fringes (SFE = 150 μm) |
| 可測反射率范圍 | 4% - 100% |
(1) 四英寸口徑，使用625 nm光源
(2) 在4英寸參考鏡上執行36次連續測量，每一次測量使用均化值為16次。 參考定義為所有奇數測量的平均值。 RMS重復性定義為RMS平均差值，加上偶數測量值與參考之間差值的標準偏差的2倍。
(3) 1 µm PV 離焦像差下
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