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皮米精度位移激光干涉儀
昊量光電推出的皮米精度位移干涉測量儀quDIS是對納米級別的位移波動進行量測的理想儀器，基于其*的測量原理，相對距離的重復精度達到了50皮米。quDIS可同時支持三個測量通道，使其可以適用于任意的多軸測量中。quDIS在原理上同樣采用激光干涉法，不過與傳統激光干涉儀相比，其集成了法珀腔（Reference cavity）及飽和吸收氣室（GC）作為頻率校準參考，通過激光波長調諧掃描，比較兩種不同的干涉圖樣，可以實現其它設備所不具有的絕對距離測量，基于這種測量方式，使得quDIS相對其他產品測量距離可以達到20M的同時保持高精度，且與信號對比度和強度無關，由于使用整個干涉模式來提取位移信息，因此不存在非線性誤差。此外，quDIS不僅可以獲得位置、速度和加速度等信息，折射率、反射率或表面傾斜度等信息也可以從實時信號中提取得到。
皮米精度位移激光干涉儀產品特點：
多維度多通道位移干涉器，操作簡單，即插即用
相對距離和絕對距離測量
完善的全套系統配置
實時輸出數字化圖像
針對不同應用提供各種傳感接頭及反射模塊組合解決方案
長期使用保證穩定性
兼容真空與各種惡劣環境
皮米精度位移激光干涉儀*優勢：
絕對距離高精度測量！
不存在非線性及周期性誤差！
相對距離信號穩定性<0.05nm！
工作距離最大20m（與傳感頭相關）
目標最大速度1m/s
三個傳感接口，可實現多設備同步
探測器分辨率達到1pm
皮米精度位移激光干涉儀應用領域：
極限環境下振動分析
緩慢漂移及熱膨脹檢測
精密設備位置控制
納米級位移測量
層狀結構中間隙和邊緣的測量
位移和振動精度評估
皮米精度位置測量儀參數列表：
| 干涉儀 | 傳感頭 | ||
| 光源 | DFB激光器 | 分辨率 | 1pm |
| 功率 | <400uW | 相對距離穩定性 | < 0.05nm |
| 波長 | 1535nm | 絕對距離精度 | <0.2nm/mm |
| 線寬 | <5MHz | 帶寬 | 25kHz |
| 傳感器通道 | 3 | 工作距離 | 0.1—20m |
| 光纖輸入端口 | FC Narrow-Key-Slot | 目標速度 | <1m/s |
| Mating Sleeves | 傳感頭 | 真空 | |
| 同步 | 多臺設備同步 | 低溫 | |
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