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全功能X射線顯微鏡
研究型X射線顯微鏡XROS MF30，使用具有比可見光短的波長的X射線作為探針，獲得具有高空間分辨率的圖像。此系統也集成光學顯微鏡，X射線攝影，局部元素XRF微分析，元素mapping等功能。全功能X射線顯微鏡
全功能X射線顯微鏡特點：
微焦點X射線管
用于X射線波束形成的可變光束尺寸的聚毛細管透鏡
一組基本的輻射濾波器
攝像機用于選擇分析區域
用于分析區域調查的光學數碼顯微鏡
光學顯微鏡軸線與x射線探針軸線相結合
工作距離的自動選擇系統
自動X、Y坐標取樣臺，用于分析區域的定位和掃描
分析單元沿Z軸的自動移動
射線檢查用探測器
用于局部XRF分析的硅漂移檢測器
用于分析輕元素的真空測量室
內置的自動X光管水冷卻系統
軟件：
局部元素分析與元素填圖
X射線攝影
記錄和數據存儲
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一組可更換輻射濾光片(12個)
X射線管
內置水冷系統
硅漂移探測器
回看攝像機
光學顯微鏡軸與微探針軸結合(銳度自動調節)
光學顯微鏡(手動調整銳度)
樣品臺(XY位移，精度10um)
束源 | ||
| 微焦點X射線管: | ||
| 45 kV | |
| 500 W | |
| Mo, other by request | |
用于X射線波束形成的可變光束尺寸的聚毛細管透鏡
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30 - 1 000 μm | |
一組基本的光束濾波器 | Zr, Ti, Mo, Ag, Al, Cu, Cl | |
光學研究 | |
光學數字顯微鏡：
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200х |
樣品定位和mapping | |
用攝像機選擇分析區域 | |
光學顯微鏡結合X射線探頭的軸線來控制分析區域 | |
| 樣品和探針移動系統： | |
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| Z軸定位精度 | 12 μm |
| 10 μm |
| 150x150 mm |
| 300х210х100 mm |
| 1 kg |
X射線熒光分析 | |
局部元素分析用能量色散半導體探測器 | |
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| <150 eV |
| 1 - 40 keV |
| 1 000 000 cps |
| from 1 ppm to 100% |
| X射線攝影 |
| 用于射線照相研究的通過樣本輻射傳輸的點探測器(可選ccd探測器) |
分析單元 | |
電源 | 230 V, 50 Hz |
Size (W x D x H) | 615 x 665 x 650 mm |
Weight | 85 kg |
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