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DMD無掩膜光刻機
  • DMD無掩膜光刻機
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貨物所在地:上海上海市

更新時間:2025-02-24 13:43:38

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DMD無掩膜光刻機結合電動移動平臺,可實現曝光拼接,分辨率可達到3mm。可通過公司編寫的軟件完成詳細設定,使操作簡潔方便。

DMD無掩膜光刻機

DMD式無掩膜光刻機無需制造掩膜,采用DMD數字掩膜,可在抗蝕劑內曝光所希望的任意圖案。無掩膜光刻機可以讀取任何CAD數據,除此之外DMD式無掩膜光刻機還可以讀取Bitmap, PNG, DXF, GDS等其它格式DMD式無掩膜光刻機使用365nmLED光源,降低價格的同時實現了穩定的曝光。采用10倍物鏡,一次曝光面積可達1mm´0.6mm,曝光時間僅需1s。結合電動移動平臺,可實現曝光拼接,分辨率可達到3mm。可通過公司編寫的軟件完成詳細設定,使操作簡潔方便。

DMD無掩膜光刻機

 

與傳統的光刻機不同,AU-PALET光刻機采用DMD數字掩膜光刻技術,無需制造掩膜。大大降低了時間和成本。無掩膜光刻機可以讀取任何創建的CAD文件,直接進行光刻。除了CAD文件,還可以讀取豐富的其它格式的數據,例如Bitmap, PNG, DXF, GDSⅡ等。

 

 

 

AU-PALET DMD式無掩膜光刻機采用短波段的LED燈為光源,相對于其它的光源,擁有更高的穩定性和更長的壽命,降低價格的同時實現了穩定的曝光。AU-PALET 無掩膜光刻機為面曝光,采用10倍的物鏡,一次曝光面積可達到1mm´0.6mm,結合電動平移臺可實現曝光拼接,可達到更大的曝光面積。可通過公司編寫的軟件完成簡單操作和詳細設定,操作簡潔方便。

 

設備有限公司推出的DMD式無掩膜光刻機有兩種。

 

①  AU-PALET是一款快速光刻的無掩膜光刻機。本裝置采用375nm的LED光源,實現了穩定的曝光,并且擁有更高的穩定性和更長的壽命。采用10´的物鏡曝光面積達到1mm´0.6mm,光刻分辨率達到5mm,并在10s 內完成曝光。

②  

 

 

②AU-PALET­_new 是AU-PALET的升級版本,在光源上采用波長更短的365nm的LED燈作為光源,采用10´的物鏡曝光面積達到1mm´0.6mm,光刻分辨率達到3mm,并在1s 內完成曝光。

 

 

 

u  主要特點

  • 高速度(1s
  • 廣范圍(1´0.6mm
  • 365nm LED光源
  • 高分辨率 3mm
  • 成本低

 

u  主要應用

磁性薄膜等的任意形狀的圖的形成

感器,半體器件制作

MEMS器件的試制

光電LED的試制

微流體器件的試制

掩膜版制作

分離通道等的制作

光波導路的制

 

 

 

 

u  主要參數

              型號

參數

AU-PALET

AU-PALET_new

光源

375nm LED

365nm LED

光刻分辨率(使用10倍物鏡)

mm

mm

曝光面積(使用10倍物鏡)

1mm´0.6mm

1mm´0.6mm

平臺

手動XYZq平臺

手動XYZq平臺

構成

裝置本身,電腦, 軟件

裝置本身,電腦, 軟件

外形尺寸

420(W) x 300(D) x 600(H)

300(W) x 450(D) x430(H)

選項

2x鏡頭,電動平臺等

2x鏡頭,電動平臺等

 

 

 


 

 

 

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