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上海富瞻環(huán)保科技有限公司
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FS-N 系列半導(dǎo)體氣動泵
  • FS-N 系列半導(dǎo)體氣動泵
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貨物所在地:上海上海市

更新時間:2025-04-25 21:00:08

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半導(dǎo)體行業(yè)儀器
FS-N 系列半導(dǎo)體氣動泵
適用于各類供藥系統(tǒng),吐出量達(dá)100L/min

FS-N 系列半導(dǎo)體氣動泵
適用于各類供藥系統(tǒng),吐出量達(dá)100L/min

高速沖程

高速沖程 (FS-80N最高達(dá)200 spm),讓結(jié)構(gòu)緊湊、重量輕、成本低,可同時用于高流量及高壓力工況。


無污染設(shè)計

過流端采用氟樹脂無污染構(gòu)造,使用的軸封顯著降低顆粒的產(chǎn)生(已申請)。

 

高流量及高吐出壓力
最大吐出量高達(dá)0.7MPa,不僅滿足化學(xué)供藥過程中高流量及高吐出壓力的需求,同時適用于清洗及CMP制程。


傳感器驅(qū)動系統(tǒng)

內(nèi)置式開關(guān)通過傳感器驅(qū)動系統(tǒng)打開/關(guān)閉電磁閥。因此,即使連接各種控制器,亦可以輕易控制吐出量。

 

規(guī)格

最大吐出量

100 L/min

最大吐出壓力

0.7 MPa

最大耗氣量

1495 NL/min

最大沖程率

100 spm

主要材質(zhì)

PTFE, PFA

液體輸送溫度范圍

5 ~ 60 °C


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