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當前位置：> 供求商機> PDS-105R半導體氣動泵
高精度
步進電機驅動設計，重復精度達±0.3% (F.S.)。
結構緊湊
高度260mm (舊型號達330mm)，寬度僅50mm (舊型號為60mm)。
節省光刻膠
采用高扭距步進電機驅動，吐出穩定，重復精度高。
無污染
優化管膜片的設計，消除因滑動部件的磨損而產生顆粒的可能性，以及在盲區凝結的可能性。
節省光刻膠
規格
最大吐出量 | 5.0 mL/shot |
吐出速度 | 0.1 ~ 4.0 mL/sec |
吸入速度 | 0.1 ~ 3.0 mL/sec |
最大吐出壓力 | 0.15 MPa |
重復精度 | ±0.3 % (F.S.) 或以下 |
主要材質 | PFA, PTFE, PCTFE, Kalrezr 3 |
液體粘度范圍 | 200 mPa·s |
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