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大大節省光刻膠
使用高力矩步進電機作為驅動裝置，確保吐出量的穩定性。即使使用過濾器過濾堵塞物或液體粘度出現變化時，亦確保暢通無阻。吐出重復精度(高達0.3%)能保持不變。
無污染
采用管型膜片結構，內部過流部分是平整、光滑，殘留體積極小。因為整個系統幾乎沒有一個地方，可讓液體依附，有效避免顆粒產生。
適用于各種涂層工藝
因吐出速度可自由改變，該系統能夠處理各種光刻膠涂層工藝，包括極小吐出量或極短時間周期等不同的應用。
減少生產線停機時間
吐出量和吐出時間可以輕松在控制器設定，大大減低操作時間、人手和生產線停機時間。
規格
型號 | PDS-H115 |
最大吐出量 | 12 mL/shot |
最大吐出壓力 | 1.0 MPa |
吐出速度 | 0.5 ~ 2.0 mL/sec |
吸入速度 | 0.3 ~ 2.0 mL/sec |
| 最高液體粘度范圍 | 10,000 mPa·S |
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