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半導(dǎo)體晶片和玻璃面板運(yùn)輸過程中的振動(dòng)測(cè)量特點(diǎn)
2022-12-2 閱讀(942)
半導(dǎo)體晶片和玻璃面板運(yùn)輸過程中的振動(dòng)測(cè)量特點(diǎn)
1.測(cè)量條件
使用的測(cè)量儀器
高速3通道無線振動(dòng)記錄儀MVP-RF3-HC
測(cè)量對(duì)象
液晶玻璃面板
尺寸
約 1.5m x 1.9m x 1.8mm
測(cè)量位置
將記錄器固定在玻璃基板的中心附近
固定方法
包裝膠布
輸送方向
Z軸方向（面板垂直方向）
2. 加速度波形（振動(dòng)波形）測(cè)量數(shù)據(jù)
加速度數(shù)據(jù)是從晶圓移動(dòng)開始到停止的這段時(shí)間測(cè)量的。
高速3通道無線振動(dòng)記錄儀內(nèi)置3軸加速度傳感器，因此可以同時(shí)測(cè)量3個(gè)方向的加速度值。
<最大加速度>
<討論>
在這種載體中，啟動(dòng)和停止時(shí)的加速度（振動(dòng)）很大。
運(yùn)輸過程中加速度小。
開始移動(dòng)時(shí)施加的加速度（振動(dòng)）更大。
施加加速度（振動(dòng)）的方向在 Z 軸方向（面板厚度方向）最大。
最大加速度（振動(dòng)）約為9.8m/sec^2（約1.0G）
3. FFT分析
<FFT分析條件>
在上述“加速度波形數(shù)據(jù)"中，提取并分析“開始移動(dòng)"時(shí)的數(shù)據(jù)（0至1秒）。
<FFT分析結(jié)果>
<討論>
Z軸方向（面板厚度方向）在50Hz附近有一個(gè)譜峰。
→是面板的固有振動(dòng)頻率嗎？如果設(shè)備運(yùn)行中有50Hz附近的頻率成分，由于共振的影響，面板損壞的可能性增加，估計(jì)成品率會(huì)下降。
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