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詳細(xì)摘要： 封閉式干涉式激光尺利用微型激光干涉儀，以工業(yè)應(yīng)用中最重要的線型標(biāo)定為核心，將光學(xué)相干光路等集成在單個光電芯片上，一步實現(xiàn)激光干涉儀的線型測長和標(biāo)定功能，從而簡化...

詳細(xì)摘要： MetriLiDAR MM-X系列微型激光干涉儀將參考光路內(nèi)置于干涉儀中，將光學(xué)相干光路等集成在單個光電芯片上，一步實現(xiàn)激光干涉儀的線型測長和標(biāo)定功能，從而簡化...