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陶瓷壓阻式E+E壓力傳感器的研究

2016-12-16  閱讀(917)

陶瓷壓阻式E+E壓力傳感器的研究
傳感技術(shù)已和計(jì)算機(jī)技術(shù)、通訊技術(shù)成為當(dāng)今電子信息技術(shù)的三大支柱,并成為發(fā)展zui為迅速的技術(shù)學(xué)科之一。作為信號檢測、信息獲取的關(guān)鍵和基礎(chǔ),傳感技術(shù)日益受到世界范圍內(nèi)的高度重視。新型敏感材料和傳感器的研究,已成為國內(nèi)外優(yōu)良研究的熱點(diǎn)和前沿。

陶瓷壓阻式E+E壓力傳感器的研究
根據(jù)E+E壓力傳感器的實(shí)際測試過程中的各個環(huán)節(jié)已經(jīng)或可能產(chǎn)生的影響,獲取E+E壓力傳感器真實(shí)性能輸出數(shù)據(jù)的因素,采用可靠性的分析方法對其進(jìn)行分析;提示了測試過程中影響傳感器輸出的規(guī)律,減小傳感器因在測試過程中產(chǎn)生的誤差;并為深入研究E+E壓力傳感器提供一條新的思路,為研究新的E+E壓力傳感器提供一定的理論依據(jù)。陶瓷厚膜E+E壓力傳感器是一種新型應(yīng)變式E+E壓力傳感器,利用厚膜電阻的壓阻效應(yīng)和力敏效應(yīng)研制而成。其應(yīng)變電阻為具有壓阻效應(yīng)的厚膜釕酸鹽電阻,并采用厚膜工藝技術(shù)直接印刷、燒結(jié)在陶瓷彈性體上,實(shí)現(xiàn)壓力檢測。先從傳感器的基本特性、厚膜工藝、厚膜E+E壓力傳感器系統(tǒng)理論及在壓力測量方面的應(yīng)用進(jìn)行深入的研究,闡述了陶瓷壓阻式E+E壓力傳感器的基本原理、工藝流程;分析現(xiàn)有產(chǎn)品的技術(shù)難點(diǎn),給出一體式陶瓷厚膜E+E壓力傳感器的設(shè)計(jì)方案。主要工作概括如下:給出了一體式陶瓷彈性膜片和新型厚膜絲網(wǎng)印刷版圖設(shè)計(jì)方案,優(yōu)化了傳感器關(guān)鍵工藝環(huán)節(jié);改變厚膜電阻激光修刻方案,加工制作了陶瓷厚膜E+E壓力傳感器。改進(jìn)方案,解決了陶瓷E+E壓力傳感器的圓環(huán)形陶瓷基座與陶瓷彈性膜片粘接垂直相交連接處的圓周線開裂難點(diǎn);惠斯通電橋不平衡影響零位信號輸出的缺點(diǎn);模擬信號處理電路無法滿足傳感器向小型化、智能化、高精度方向發(fā)展等技術(shù)難點(diǎn)。



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