AFM探針/原子力探針/導電探針(DDESP-10)

常用探針型號介紹

1. 輕敲模式，RTESPA-300，TESP，FESP

2. 接觸模式，SNL，NP，

3. 智能掃描模式：Scanasyst air,ScanAsyst-fluid,ScanAsyst-Fluid+

4. 磁力顯微鏡，MESP-V2,MESP-RC-V2

5. 靜電力顯微鏡，導電AFM，等電學測量模式，DDESP，SCM-PIT，SCM-PIC等。

6.  其他特殊功能探針。如金剛石探針，大長徑比探針。

指標：

探針的指標主要分三個部分，分別對應了基片，微懸臂梁，和針尖三個部分。

1. 基片，就是基片的長，寬，高，各種探針的基片尺寸是基本一致的。

2. 懸臂梁，分為矩形梁和三角形懸臂梁，他們的長寬厚的幾何尺寸決定了懸臂梁的彈性系數和共振頻率。而彈性常數K是探針的很重要的一個參數，一般來說，接觸模式的探針的彈性常數小于1N/m。輕敲模式的探針的懸臂梁彈性系數從幾個N/m到幾十個N/m。常用的RTESP的彈性常數是40N/m。

3. 針尖，針尖的的幾何形狀是一個四面體。指標主要有，曲率半徑(Tip Radius)，探針高度（Tip Height），對應于四面體的指標，前角（Front Angel），后角（Back Angel），側角（Side Angel），還有一個是Tip Set Back，對應的是針尖離懸臂梁末端的水平距離。

材質：

1. 輕敲探針：一般是單晶硅，型號如RTESP；

2. 接觸模式探針：材質是SiN，而新型號的SNL接觸探針，懸臂梁是SiN，而針尖則Si（曲率半徑2nm左右），這種探針可以提供接觸模式下的分辨率圖；

3. 功能探針：如磁力探針（MESP），導電探針，則是在普通的硅探針的基礎上再鍍上相應的材料。MESP的鍍層是Co/Cr，SCM-PIT的鍍層是Pt。