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197次BTL7-P711-M0700-B-S32巴魯夫位移分析方法
耐高溫
為縮短抽真空時間和獲得較高真空度，真
空腔需要加熱到100 °C甚至更高的溫度。
因此，附著在編碼器外殼上的水分子將被
氣化并被快速抽除。為此，真空應用的編
碼器必須能承受100 °C甚至更高的溫度。
超凈
真空腔中的編碼器必須經過特別清潔處理，
保持高清潔度。大多數潤滑脂和潤滑油，
甚至指印，在真空中都滲出氣體，因此都
不允許存在。否則，可能逸出細小顆粒或
灰塵，例如造成被檢查的微電子電路板損
壞或影響實驗結果。為此，在編碼器生產
過程中和包裝過程中，全面滿足超凈的特
殊要求。
海德漢在超凈車間中生產真空應用的編碼
器。包裝也采用特別的設計。編碼器采用
雙重包裝，密封前在包裝內充入氮氣。
電氣連接
海德漢編碼器的接頭能方便地穿入真空腔
外殼。
LIP和LIF系列直線光柵尺需要接口電子電路
將信號轉換成1•VPP。該接口在D-sub接頭
內。接口電子電路直接安裝在高真空應用
的設備上。對于超高真空應用，接口電子
電路必須在真空腔外。因此，高真空應用
的LIP和LIF提供兩種版本的電纜。讀數頭與
接口電子電路間的電纜長度可達3米。
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