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  • 進口ALD設備

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  • 等離子體增強MOCVD

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  • 金屬有機化學氣相沉積系統MOVPE設備

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  • NMC-4000（M）PA-MOCVD設備

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  • NMC-4000（A）全自動PAMOCVD系統

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  • NMC-4000（M） MOCVD設備

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  • NMC-3000等離子輔助MOCVD

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  • NLD-4000（ICPM）PEALD系統

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  • 原子層沉積系統

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    NMC-4000 MOVPE設備：針對InGaN及AlGaN沉積工藝所研發的臺式等離子輔助金屬有機化學氣相沉積系統（PA-MOCVD）,該系統具有5個鼓泡裝置（...

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