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流量計
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更新時間:2025-04-15 21:00:08

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監(jiān)測設(shè)備
非標定制產(chǎn)品
EWAI產(chǎn)品系列
GBC產(chǎn)品系列
定制操作臺
標準操作臺
拼接電視墻
分析儀器
光學(xué)圖像
熱式氣體質(zhì)量流量控制器/流量計主要應(yīng)用在量程范圍從5sccm—1500slm之間氣體流量的測量和控制,采用新型傳感制作工藝,具有本體顯示、數(shù)模一體,隨意切換、多種通訊、響應(yīng)速度快、準確度高、流量控制穩(wěn)定、壓力范圍寬、線性度好等優(yōu)點,適用于絕大多數(shù)干燥、干凈的氣體(及少數(shù)腐蝕性氣體)。

應(yīng)用行業(yè):真空鍍膜設(shè)備、石油化工、航空航天、醫(yī)藥制造業(yè)、火電、核電、天然氣加氣站、太陽能、 液晶面板制造半導(dǎo)體工藝設(shè)備、化學(xué)與化工實驗設(shè)備、食品科學(xué)與工程設(shè)備、能源與環(huán)境保護設(shè)備、各種分析儀器設(shè)備表面處理、真空冶金及材料工藝、高校及科研院所實驗室設(shè)備等行業(yè)的公司

 

  氣體質(zhì)量流量控制器/流量計出廠通常用氮氣(N2)標定
質(zhì)量流量單位:SCCM(標準毫升每分鐘)SLM(標準升每分鐘)
標準狀況:溫度--293.15K(20℃)

壓力--101325Pa(760mmHg)
F.S(Full Scale)表示滿量程

流量計特征

--全數(shù)字構(gòu)架               --更快的響應(yīng)速度

--寬壓力范圍               --出色的線性度

--新型傳感制作工藝

流量規(guī)格(氮氣)

0-10sccm/10sccm-50slm

控制量程

2%-100%

精度

≤±1.0%F.S

線性

≤±0.5%F.S

重復(fù)性

≤±0.2%F.S

閥門類型

常閉閥

響應(yīng)時間

1-3sec

最大耐壓

0-50Bar

通信信號

0-5V/4-20mA/Rs485

供電方式

14VDC--27VDC (300mA)

泄漏率

1×10-9atm. cc/sec He





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