潔凈烘箱是一種提供高溫凈化環境的特殊潔凈烘干設備。箱內空氣封閉自循環，經耐高溫高效空氣過濾器（100級）反復過濾，使烘箱工作室內處于無塵狀態。潔凈烘箱工作室采用SUS304不銹鋼結構，全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產器，防機臺本身所產生微塵。工作室內溫度由智能數顯溫度控制儀進行PID恒溫自動調節，并有時間控制裝置，并設有超溫自動切斷電源及報警電路，控制可靠，使用安全。

產品廣泛應用晶圓片的硬烤、軟烤，LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室、航天航空等眾多工業領域的預熱、老化、烘烤、熱固化、淬火去應力等工藝。

產品特點

百級無塵充氮烘箱

1、密封性設計：內材質用SUS304不銹鋼板，內膽用氬弧焊滿焊，防止空氣進入烘箱內及機臺本身所產生的微塵，同時節省惰性氣體；

2、外部防塵處理：外材質為SPCC鋼板經過粉體噴塑，耐磨不掉塵渣；

3、節       能： 保溫材質為高密度陶瓷纖維，保溫節能；

4、分層結構設計：內箱層板高低可調，可自由取出；

5、內部無塵配件：內部結構配件均采用無氧化無塵材質；

6、外箱密封性：外箱結構均采用特殊密封結構設計，確保其與潔凈室的和諧；

7、移動自由：箱體有活動腳輪，可任意推動和固定位置；

8、高效過濾器：HEPA過濾網構造潔凈室與潔凈等級100以下；

9、內循環風設計：強制送風內循環，確保溫度均勻；

10、氮氣預熱結構設計；

11、可選配PLC+HMI人機觸摸屏控制系統，帶數據輸出接口。（選配）

12、泉州鋒云氮氣烘箱（無氧化烘箱）可選配氧含量分析儀，實時觀測箱內氧氣含量；

13、可配置充氮氣系統（氮氣進氣口，自動預熱控制）。

百級無塵充氮烘箱

型號參數