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AMC是什么?

AMC氣態分子污染物(Airborne Molecular Contamination)是指存在于空氣中的氣態化學物質或揮發性有機化合物(VOCs),可能對產品、制程或人員造成負面影響。這類污染物通常無法通過傳統的微粒過濾器(如HEPAULPA)去除，需要特殊控制措施。

AMC的種類

根據Semi F21-1016標準中所定義，AMC分為MA(酸性物質/MB(堿性物質)/MC(凝結物質)/MD(參雜物質/MM(金屬物質)五大類，其中包含了常見的NH3、SO2、H2S、VOCs、HF、HCI等。

AMC的來源

AMC的來源相當廣泛，如制程使用的化學品、外氣所含的污染物、無塵室中建材釋出、人員排放等等。

AMC的影響

微小的AMC物質進入無塵室后，可能造成蝕刻制程不良率提高、光阻劑變質、晶圓污染或氧化、光學鏡頭霧化等問題，甚至可能會影響到人體健康，因此，源頭管理、實時監測與控制污染物濃度的AMC管理將成為無塵室核心的研究課題之一。

AMC在線監測系統組成

一套完整的AMC在線監測系統，具有以下組成要件：

● 取樣系統：多流路取樣系統與取樣管路安裝，選擇不影響分析結果的材料，配合監測點規劃，有效了解無塵室整體環境情況。

● 分析儀：根據客戶需求不同，Thermo Fisher可提供多種在線分析儀配置，如NH3、H2S、VOCs、各種陰陽離子、特殊組分VOCs等，根據生產節點不同，去分析關鍵物質與對應濃度。

● 數據收集系統：將不同分析儀的數據匯整并顯示出各點位的歷史數據，再配合傳輸要求，可將數據傳輸至客戶接收端，配合報警系統，有效早期預判污染物的上升趨勢，進而調整無塵室濾材的更換頻次，大幅提高效率。