詳細介紹
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產品概述詳細
詳細資料:
半導體電阻率型號綜合測試儀是于各種半導體材料包括片狀硅料、硅晶體等的型號和電阻率測定的設備,測定范圍:0.01-199.99Ωcm,是生產廠家硅料分選測試的理想工具。
一.1.電阻率主要技術指標:
可測晶片直徑(zui大)Ф100mm,方形230×220mm
恒流源:電流量程為0.01~1mA連續可調,誤差≦±0.5%。
數字電壓表:輸入信號量程:0~200mV,zui大分辨率:100μV
電阻率顯示:三位半數字顯示:小數點、極性、過載、自動顯示0.01-199.99歐姆。厘米
輸入抗阻:0.2mV和2mV量程:>108Ω
測量精度:±5%。
zui大電阻測量誤差(按JJG508-87進行):0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω≤±5%讀數±2個字。
重摻檢測誤差(JJG508-87進行):1Ω≤±1%、0.5Ω≤±0.5%、0.1Ω≤±0.1%
測量環境:溫度23±2℃,相對濕度≤65%
2、操作程序:
1、先連好電源,打開后面板電源開關,電源指示燈亮,表示待機完畢。
2、校準設備:厚度小于3.98mm取與要備測試硅材料厚度相同的硅材料標準樣塊校準電阻率測試儀,測試厚度大于3.98mm的硅材料可取厚度大于3.98mm的任一標準樣塊校準電阻率測試儀
3、測試:用四探針接觸硅材料,以探針壓下三分之二為準,待儀器顯示數字穩定即可,
4校驗:在測試過程中要求2小時用標準樣塊校準一次設備,
3、針組件;維護及注意事項:
1、一般情況下,除了信號傳輸線的斷裂引起的故障外,針的維護主要包括針頭的更換和針頭的清理清潔工作
2、維護后的安裝及維護過程中,須注意安裝過程中的排線位置,按綠紅黃黑(1234)位置排列。
二、P/N型號判別功能:
1.判別半導體硅材料導電類型(P/N);
2.準確判定電阻率為0.1Ω.cm和0.5Ω.cm以下的重摻硅料;
使用與操作說明:
1.面板功能
儀器面板主要由導電類型字符(P/N)數碼顯示,重摻檔位選擇開關及其聲訊指示,電源指示和探測信號輸入輸出組件。
2.操作步驟
先連接好電源,打開后面板電源開關,紅色指示燈顯示,表示待機完畢。接著進行重摻檔位設定:如果選擇開關設置I檔表示檢測硅料電阻率為0.1Ω.cm以下的重摻;以重摻樣塊檢測,此時紅色指示燈應點亮,同時蜂鳴報警指示。如果選擇開關設置于Ⅱ檔表示檢測硅料電阻率為0.5Ω.cm以下的重摻;以重摻樣塊檢測,此時紅色指示燈應點亮,同時蜂鳴器報警指示。
3.功能識別
本儀器采用的LED數碼管顯示,既可以直觀的指示待測硅料型號,又可以對其電阻率大小進行錯率的界定。
4.注意事項
在判別過程中測試速度和頻次不宜過高,同時盡量保持探頭與料塊垂直,以探針良好接觸料塊后的穩定顯示字符為準。