半導(dǎo)體電阻率測試儀操作手冊

功能描述Description：

• 四探針組合雙電測量方法
• 液晶顯示，自動測量，自動量程，自動系數(shù)補(bǔ)償.
• 集成電路系統(tǒng)、恒流輸出.
• 選配：PC軟件進(jìn)行數(shù)據(jù)管理和處理.
• 提供中文或英文兩種語言操作界面選擇

• 參照標(biāo)準(zhǔn)：

  1.硅片電阻率測量的標(biāo)準(zhǔn)（ASTM F84）.

  2.GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》.

  3.GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流兩探針法》.

  4.GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》.

  雙電組合測試方法：

  利用電流探針、電壓探針的變換，進(jìn)行兩次電測量，對數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測分析，解決樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對測量結(jié)果的影響，適用于斜置式四探針對于微區(qū)的測試

• 半導(dǎo)體電阻率測試儀操作手冊

• 規(guī)格型號/ model	FT-341	FT-342	FT-343	FT-345	FT-346	FT-347
  1.方塊電阻	10-5～2×105Ω/□	10-4～2×105Ω/□	10-3～2×105Ω/□	10-3～2×104Ω /□	10-2～2×105Ω/□	10-2～2×104Ω/□
  2.電阻率	10-6～2×106Ω-cm	10-5～2×106Ω-cm	10-4～2×106Ω-cm	10-4～2×105Ω-cm	10-3～2×106Ω-cm	10-3～2×106Ω-cm
  3.測試電流	0.1μA.μA.0μA，100µA，1mA，10mA，100mA	1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA	0.1μA.μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100 mA	1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA	0.1μA、1μA、10μA，100µA，1mA，10mA，100mA	1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA
  4.電流精度	±0.1%	±0.2%	±0.2%	±0.3%	±0.3%	±0.3%  accuracy
  5.電阻精度	≤0.3%	≤0.3%	≤0.3%	≤0.5%	≤0.5%	≤0.5% accuracy
  6.顯示讀數(shù)	屏液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率
  7.測試方式	雙電測量
  8.電源	輸入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗：<30W
  9.誤差	≤3%（標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果）
  10.選購功能	選購1.pc軟件； 選購2.方形探頭； 選購3.直線形探頭； 選購4.測試平臺；5.標(biāo)準(zhǔn)電阻
  11.測試探頭t	探針間距選購：1mm；2mm；3mm三種規(guī)格; 探針材質(zhì)選購：碳化鎢針;白鋼針；鍍金磷銅半球形針