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中級(jí)會(huì)員 | 第13年

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振實(shí)密度儀
粉體流動(dòng)性
粉體測(cè)試儀
粉體綜合特性測(cè)試儀
松裝密度儀
休止角測(cè)定儀
四探針測(cè)試儀
四探針電阻率/方阻測(cè)試儀
表面和體積電阻率測(cè)試儀
粉體/粉末/顆粒流動(dòng)性測(cè)試儀
密度儀/比重計(jì)
材料電阻率測(cè)試儀
水分測(cè)定儀
體積密度儀
電壓降測(cè)試儀
粉末和顆粒流動(dòng)性測(cè)定儀
表觀密度測(cè)定儀
安息角測(cè)試儀
粉末電阻率測(cè)試儀
堆積密度測(cè)定儀
塑料流動(dòng)性測(cè)試儀
粉體半導(dǎo)體粉末電阻率測(cè)試儀
自動(dòng)壓實(shí)密度測(cè)試儀
粉體壓縮性強(qiáng)度測(cè)試
智能粉末電阻率測(cè)試系統(tǒng)
粉末屈服強(qiáng)度分析儀
電線電纜電阻率測(cè)試儀
粉末性狀測(cè)試儀
極片電阻儀
接觸電阻測(cè)試儀
表面電阻測(cè)試儀

四探針電阻率測(cè)試儀檢測(cè)條件

時(shí)間:2017/10/10閱讀:1882
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  四探針電阻率測(cè)試儀檢測(cè)條件

  本規(guī)程適用于新生產(chǎn)、使用中和修理后的接觸式測(cè)量范圍在0.001~103Ω·cm的電阻率測(cè)試儀的檢定。對(duì)某些多功能的測(cè)試或只能測(cè)方塊電阻的測(cè)試儀也同樣適用,方塊電阻的測(cè)量范圍在0.01~104Ω/□。本規(guī)程不適用于二探針、三探針和六探針以及方形探頭電阻率測(cè)試儀。

  四探針電阻率測(cè)試儀概述

  四探針電阻率測(cè)試儀是用來(lái)測(cè)量半導(dǎo)體材料及工藝硅片的電阻率,或擴(kuò)散層及外延層方塊電阻的測(cè)量?jī)x器。它主要由電氣部分和探頭部分組成,電氣部分一般包括穩(wěn)流源、數(shù)字電壓表或電位差計(jì)、換向開(kāi)關(guān)等儀器。探頭部分一般包括探針架、探針頭和樣品臺(tái)。

  1-穩(wěn)流源;2-換向開(kāi)關(guān);3-標(biāo)準(zhǔn)電阻;4-探針接線;5-無(wú)熱電勢(shì)開(kāi)關(guān);6-數(shù)字電壓表;7-被測(cè)樣品

  1-微型計(jì)算機(jī)部分;2-電氣箱部分;3-手動(dòng)升降機(jī)構(gòu)、探針架、探針頭及樣品臺(tái)部分

  四探針電阻率測(cè)試儀檢定環(huán)境條件

  四探針電阻率測(cè)試儀應(yīng)在恒溫清潔室內(nèi)進(jìn)行,檢定具體要求見(jiàn)表3。檢定前,儀器和所用的標(biāo)準(zhǔn)儀器設(shè)備應(yīng)在恒溫室內(nèi)旋轉(zhuǎn)12h以上。

  *在檢定過(guò)程中發(fā)現(xiàn)有靜電感應(yīng)或泄漏電流的現(xiàn)象,則應(yīng)采取相應(yīng)的屏蔽或接地措施消除。

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