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技術(shù)文章

SMC化學(xué)液用氣控閥JLV系列新品震撼來襲!

閱讀:111          發(fā)布時間:2025-4-22

SMC新推出一款化學(xué)液用氣控閥 JLV系列,該產(chǎn)品通過創(chuàng)新結(jié)構(gòu)設(shè)計,大大降低閥關(guān)閉時的沖擊,從而有效的抑制了微粒的產(chǎn)生。閥主體采用高純PFA材質(zhì),對應(yīng)高工作壓力及背壓,兼具結(jié)構(gòu)緊湊、省空間的特點,適用于涂膠顯影、CMP、清洗、濕法蝕刻、藥液供給等Wet相關(guān)各個工藝環(huán)節(jié),特別是28nm以下對微粒要求更加嚴格的工藝制程。

SMC氣控閥 JLV系列應(yīng)用案例:蝕刻裝置

CMP

涂膠顯影機

清洗機

抑制微塵的產(chǎn)生

優(yōu)化先導(dǎo)排氣,降低閥關(guān)閉時的沖擊力。

采用耐化學(xué)品性的材質(zhì)

減少安裝空間

對應(yīng)高壓/高背壓

使用壓力、背壓范圍擴大,共通化。使用壓力:0~0.5MPa(與以前產(chǎn)品相比最大提高66%)※主體class3的場合背壓:0~0.5MPa(與以前產(chǎn)品相比最大提高150%)



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