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上海廣樹機電有限公司

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模壓非球面光學玻璃鏡片碳鍍膜機

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【詳細說明】

模壓非球面光學玻璃鏡片碳鍍膜機特點:


采用隔板設計批量處理模壓光學鏡片的碳鍍膜工藝,每爐可放數千個鏡片


智能化PLC程序升溫程序,真空程序,CVD進氣程序,操作簡單方便


優質干式真空泵,杜絕油液污染,可選擇國產干式泵和進口干式泵


智能化CVD進氣控制系統,適應于氮氣、乙炔/甲烷、氬氣、空氣的通入和混合


*的密封系統,泄漏率低,長期使用穩定性高;


模壓非球面光學玻璃鏡片碳鍍膜機詳細資料:


主要用途


適用于模壓非球面光學玻璃鏡片碳鍍膜工藝


適應于半導體行業晶圓表面薄膜生長


可用于陶瓷及單晶體表面沉積碳納米管工藝;


產品技術參數


產品型號:GS-30-700廣樹      


最高溫度 700℃;


使用氣氛: 氮氣、氬氣、空氣、二氧化碳、乙炔、甲烷、合氣體


長期使用:400-700℃;


動 度: ±1℃;


顯示精度: 0.1℃;


勻 度: 容積30L


進氣流量:三路MFC質量流量計控制,一路浮子流量計控制;


升降系統 兩套伺服升降系統平臺


控制系統:智能程序化PLC控制系統;


真空泵真空度 極限真空1Pa


腔內真空度≤10Pa


降溫要求:外置冷卻風機,降溫階段強制降溫;


整機功率: 18KW;


: 380V, 50Hz;


水冷裝置:優質水冷機,PLC聯機控制


保護裝置: 過載、過流、過壓保護,接地,熱電偶異常報警,第二回路超溫報警保護裝置;冷卻水溫


力過載保護;


技術服務: 提供設備使用過程中的技術咨詢和支持,接到客戶故障通知3個工作時內立即響應。




    
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