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特點

• 采用高熱傳導率的AlN陶瓷片作為樣品臺，一根K型熱電偶的探頭直接與AlN陶瓷片的底部相接觸。可通過磁鐵推動熱電偶和AlN陶瓷片在 密閉的石英管內移動
• 一款通過NIST認證的精密測溫儀表與熱電偶相連接，實時檢測樣品的溫度。
• 一個磁鐵嵌在氧化鋁管堵內，另一個磁鐵位于石英管外部，通過移動石英管外的磁鐵，可移動石英管內的熱電偶和樣品臺移動。
• 爐體可設置30段升降溫程序，zui高工作溫度為1200℃
• 儀器包括一石英舟，實驗時可放置蒸發原料或基片。

功率

• 208 - 240 VAC, 50/60Hz   
• 1.5KW

zui高工作溫度

1200℃

連續工作溫度

1100℃

zui大升溫速率

20℃/min

加熱區

• 加熱區長度：200mm
• 恒溫區長度：60mm(+/-1°C)

溫度控制部分

• 采用PID方式來調節溫度，控溫儀表上可設置30段升降溫程序
• 控制器上設置有超溫和短偶保護
• 可選：客戶可選購MTS02-B控制模塊和PC，來用電腦設置溫度程序和導出溫度曲線 
• 控溫儀表操作視頻

控溫精度

+/- 1°C

加熱元件

摻鉬鐵鉻鋁合金（表面涂有進口氧化鋯涂層，可極大地延長加熱元件使用壽命）

爐管尺寸

• 尺寸：50mm O.D x 44mm I.D x 800mm L
• 配有4個氧化鋁管堵，實驗時需在爐管兩端放入管堵，以保證法蘭的密封性
• 配有一個石英舟，用于盛放蒸發原料或基片 

真空法蘭

配有一對不銹鋼真空法蘭，上面已安裝了不銹鋼截止閥和機械壓力表

真空度

10-2Torr(用機械泵)

可選

• 可選購手動擋板閥與真空泵相連接
• 可選購快速連接法蘭，數顯真空計
• 針對于CVD和DVD實驗，可選購多路供氣系統

尺寸

• 爐體閉合時的尺寸：1055mm(L) × 300mm(W) × 400mm(H) 
• 爐體開啟時的尺寸：1055mm(L) × 300mm(W) × 560mm(H) 

重量

22kg

質保

一年質保期，終生維護（不包含爐管和密封圈）

質量認證

• CE認證
• 所有電器元件（＞24V）都通過了UL/MET/CSA認證

使用注意事項

• 使用時，石英管內的氣壓不可大于0.12Mpa
• 石英管內處于真空狀態是，使用溫度不可高于1000℃