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等離子清洗機作為一種微觀固體表面的處理設設備，是一種全新的表面處理方案。等離子體是物質的一種狀態，也叫做物質的第四態。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態。等離子體的“活性"組分包括：離子、電子、活性基團、激發態的核素（亞穩態）、光子等。等離子清洗機就是通過利用這些活性組分的性質來處理樣品表面，從而實現清潔等目的。
主要應用于半導體、鍍膜工藝、PCB制程、PCB制程、元器件封裝前、COG前、真空電子、連接器和繼電器等行業的精密清洗，塑料、橡膠、金屬和陶瓷等表面的活化以及生命科學實驗等。
該清洗機內置高純石英倉體，采用了新型的電極結構設計和固態電源技術，使其有效容積增大，不同真空 氣體環境下容易匹配，且控制頻率穩定。真空倉門有觀察窗，可直觀物體的處理過程，其射頻電源與控制都組裝在一個機箱內，即減少了空間的占用，更便于操作和放置，同時與大型清洗機相比較，從檢測功能與控制功能的設置上均可一個面板上操作，特別適用科學實驗 樣品清洗 和教學。
設備型號 | Z5KQX | S2DQX | |
控制方式 | 7寸觸摸屏人機界面 | 7寸觸摸屏人機界面 | |
供電電源 | AC220V（AC110V可選) | ||
工作電流 | 整機工作電流不大于3.5A(不含真空泵) | ||
射頻電源功率 | 500W | 150W | |
匹配方式 | 自動匹配 | 手動匹配 | |
清洗頻率 | 40KHz | 13.56MHz | |
耦合方式 | 電容耦合 | ||
工作真空 | ≤30Pa | ≤50Pa | |
腔體材質 | 高純石英 | ||
腔體容積 | 5L(內徑Φ152mmX深度280mm) | 2L(內徑Φ110mmX深度220mm) | |
觀察窗內徑 | Φ50 | Φ50 | |
氣體流量 | 0-50ml/min（熱式質量流量傳感器X2個） | ||
真空計量程 | 1E5Pa至1E-1Pa（皮拉尼真空計） | ||
過程控制 | 自動切換 | 手動匹配自動切換 | |
清洗時間 | 自動開關 | ||
開蓋方式 | 鉸鏈側開式法蘭 | ||
外形尺寸 | 450*450*250mm | 450*450*360mm | |
真空室溫度 | 小于65°C | ||
冷卻方式 | 強制風冷 | ||
標配 | KF16真空管1米，kf16卡箍2個，不銹鋼網匣1個，電源線一根，說明書一本。 | ||
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