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PC在線氣體配比器
產品用途;
PC在線氣體配比器 主要用于氣體流量測試,并按比例混合氣體,為真空管式爐或手套箱營造特定要求的氣氛環境. 控制方式采用數字控制 精度高 抗干擾能力強 根據客戶要求隨意修改氣體。
該氣體配比器可以外接兩種或多種氣體,采用CS200或CS100質量流量計,氣路管道采用316拋光管制作耐腐蝕性強，閥門采用高壓球閥做截止閥，氣路接頭采用全不銹鋼雙卡套快速接頭,方便連接且不易泄漏。
1.半導體制造行業中氣體流量控制
2.各種真空鍍膜設備
3.特種材料表面處理
4.氣體燃燒控制
5.混和配氣系統
6.泄漏探測系統
7.環境檢測與分析設備
8.分析儀器的氣體流量計量與控制
9.化工、石化、冶金、光纖熔煉等需要氣體檢測和控制的場所
技術資料;
產品型號 | PQ-PCS4Z | PQ-C4ZS | |
控制方式 | PC軟件在線控制 | 7寸觸摸屏智能調節 | |
產品類型 | 低零漂及溫漂型/超高精度型/數字PC控制/快響應型/ | 高精度型/快速響應型/智能控制/觸摸屏控制 | |
可選量程 | 5sccm-50slm(氣體量程根據客戶需要可選) | 20sccm-30slm(氣體量程根據客戶需要可選) | |
產品精度 | ±0.35％F.S.(＜35% F.S.) ±1.0% S.P.(≥35% F.S.) | ±1％F.S | |
重復精度 | ±0.2% FS | ||
線性 | ±0.5% F.S. | ±0.5% F.S.
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響應時間 | ≤1sec | ≤2sec | |
工作溫度范圍 | (5~45)°C | ||
供電電源 | ~85-265VAC 50/60Hz | ||
*功耗 | 40W | ||
進氣口壓 | ≤0.6MPa | ||
連接管道 | 316不銹鋼管道 | ||
截止閥類型 | 手動截止閥 | ||
單向閥開啟壓力 | 0.02Mpa | ||
壓力顯示量程 | 0-0.6Mpa機械壓力表 | ||
時間設定 | 0-32000分鐘 | ||
通信口 | USB-485 | ||
程序控制 | 多段程序控制上位機軟件控制 | 5段可編程序(時間-流量隨意設定值) | |
氣體轉換 | 有（可更換氣體并設置氣體系數） | ||
壓力顯示 | 不銹鋼機械壓力表 | ||
氣體混合罐 | 有（內部添加擾流擋片混合均勻） | ||
氣體加熱 | 無（可選配氣體混合罐加熱，加熱溫度室溫-350℃可調） | ||
可選進出氣口接頭形式 | 3mm,6mm,1/8mm,1/4mm雙卡套接頭 | ||
抗電磁干擾 | 有 | ||
外形尺寸 | 550X380X400 | ||
重量 | 18KG～20KG | ||
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