KLA薄膜電阻測量技術方阻測試儀包括接觸（4PP）和非接觸（EC）方法。

Filmetrics的R50系列方塊電阻測量儀器可測量沉積在各種基材上的導電片和薄膜，跨越10個數量級范圍電阻率，包括：

半導體晶圓基板

玻璃基板

塑料（柔性）基材

PCB圖案特征

太陽能電池

平板顯示層和圖案化特征

金屬箔

二、方阻測試儀主要功能

l 技術規格

測量范圍：5m Ohm/sq - 5M Ohm/sq;

測量精度： +/- 1%；

重復度： 小于 0.2%；

樣品圖中無*的測量點位，自定義測量Recipe，可線性、矩形、

極坐標以及自定義等。

三、應用

支持廣泛的測量，包括但不限于以下各項：

金屬膜厚度、基板厚度、方塊電阻、電阻率、電導率、摻雜濃度等。