抗腐蝕、陶瓷型電容薄膜規(guī)，膜片真空計

INFICON SKY CDG025D 電容膜片真空計屬于高精度溫度補償型真空計, 在苛刻的生產環(huán)境中具有穩(wěn)定的性能. *的數字電子學提高真空計的性能和易于使用的特點, 如一鍵調零功能和設點調整. 抗腐蝕性的超純陶瓷傳感器具有超卓的零點穩(wěn)定性與預期數百萬次壓強周期包括大氣沖擊的長使用壽命. *的傳感器屏蔽 （技術） 保護真空計防止過程污染. 堅固耐用的機械結構和數字電子學加強了EMC 兼容性, 長期穩(wěn)定性和溫度補償性. CDG025D 真空計為從電源接通后的快速穩(wěn)定與暴露大氣壓后快速恢復等特性設定了新的標準.

優(yōu)點

■ 全刻度范圍從 100 毫乇… 1000 乇

■ 電源接通后快速穩(wěn)定

■ 暴露大氣壓后快速恢復

■ 抗腐蝕性陶瓷傳感器

■ 超卓的長期訊號穩(wěn)定性

■ 溫度補償

■ 保護傳感器防止污染

■ 一鍵調零功能

■ 寬范圍電源

■ 兩個設點

■ RS232接口

■ 符合清潔室條件

抗腐蝕、陶瓷型電容薄膜規(guī)，膜片真空計

用途

在要求高的應用中用于準確和快速的壓強測量:

■ 用于刻蝕, CVD, PVD, ALD 等半導體制造設備

■ 數據貯存和顯示器制造設備

■ 工業(yè)真空設備

■ 一般高精度壓強測量