德國(guó)INFICON氦質(zhì)譜檢漏儀，干式氦氣檢漏儀 UL3000 Fab (PLUS)，UL1000 Fab的升級(jí)強(qiáng)化版。

INFICON 氦氣檢漏儀 UL3000 Fab (PLUS) 設(shè)計(jì)用于滿足半導(dǎo)體應(yīng)用中的泄漏檢測(cè)要求。

德國(guó)INFICON氦質(zhì)譜檢漏儀具有靈活性、可移動(dòng)性、高靈敏度和可靠性，能夠快速啟動(dòng)并提供快速準(zhǔn)確的測(cè)量結(jié)果。

優(yōu)點(diǎn)

1、快速獲得結(jié)果

改進(jìn)后的真空系統(tǒng)采用低維護(hù)真空泵設(shè)計(jì)，在大氣壓力下即可檢測(cè)泄漏。耐用質(zhì)譜系統(tǒng)確保了較長(zhǎng)的運(yùn)行時(shí)間和較低的維護(hù)成本。UL3000 Fab PLUS 中的 HYDRO-S 軟件可消除系統(tǒng)中的水汽，使泄漏檢測(cè)過(guò)程更加迅速。UL3000 Fab PLUS 采用成熟的嗅探器線路 SL3000（長(zhǎng)度可達(dá) 10 m），嗅探能力得到進(jìn)一步提升。

2、旋轉(zhuǎn)式遙控顯示器

新型觸摸屏顯示器可遠(yuǎn)距離顯示測(cè)量結(jié)果和狀態(tài)信息。通過(guò)用戶引導(dǎo)型菜單結(jié)構(gòu)可輕松進(jìn)行操作，即使缺乏經(jīng)驗(yàn)的操作員也能勝任。可通過(guò)智能手機(jī)或平板電腦對(duì) UL3000 Fab (PLUS) 進(jìn)行無(wú)線控制 - 無(wú)需特殊軟件或應(yīng)用程序。按下按鈕，即可將記錄和存儲(chǔ)的檢測(cè)結(jié)果傳輸?shù)狡渌鎯?chǔ)介質(zhì)中，以進(jìn)行進(jìn)一步分析。

3、纖薄設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)高度的可操作性

低重心、大底輪、符合人體工程學(xué)設(shè)計(jì)的手柄和纖薄外殼，使得 UL3000 Fab (PLUS) 即使在狹小的空間內(nèi)也能移動(dòng)自如。

功能

1、可在大氣壓力下測(cè)量

2、直觀的用戶指南與觸摸屏顯示器

3、堅(jiān)固耐用的真空系統(tǒng)，不易受灰塵和污染物影響

4、轉(zhuǎn)彎半徑小，移動(dòng)性能出眾

5、可使用智能手機(jī)通過(guò)網(wǎng)絡(luò)瀏覽器進(jìn)行操作

6、維護(hù)要求低

7、設(shè)備上已附帶配件

典型應(yīng)用

1、在現(xiàn)有工具中安裝前對(duì)部件執(zhí)行檢漏

2、工藝氣體系統(tǒng)的檢查和安裝

3、使用 TC1000 測(cè)試盒執(zhí)行密封組件的自動(dòng)測(cè)試

4、在對(duì)檢測(cè)條件和清潔度要求嚴(yán)苛的環(huán)境中進(jìn)行的泄漏檢測(cè)