目錄:孚光精儀（中國）有限公司>>光學測量系列>>探針臺>> FPAPO-α200進口晶圓測試探針臺
這款手動晶圓測試探針臺是專業為晶圓測試設計的專業手動探針臺,可滿足6英寸,8英寸和12英寸晶圓測試需要,測試溫度范圍室溫~350℃,特別適合高溫和低溫環境下晶圓溫度特性測試。
手動晶圓測試探針臺特點
可選擇6'',8''晶圓和12''晶圓配置
測試溫度：室溫~350℃
可選擇芯片固定配件
可配備護罩，防止露水凝結
可配備護罩，提供較低噪音環境
使用空氣快速定位的測微計進行粗略移動和微調
壓盤的Z運動有粗運動和細運動，粗運動可以用杠桿操作可以用千分尺調整。
手動晶圓測試探針臺可選品防護外罩
手動晶圓測試探針臺應用
Low level IV (fA)和Low level CV (fF)
高功率器件探針測試：20KV DC/200A
RF測試
各種電阻測量，如sheet電阻測量
高溫和低溫環境下的溫度特性測試
可靠性測試，如TDDB
手動晶圓測試探針臺可選配件
Thermal chuck from室溫 ~+350°C
355nm~1064nm激光切割機
各種光源
三目顯微鏡（標配體視顯微鏡）
CCD相機
手動晶圓測試探針臺可以連接配合的測試儀器
設備分析儀/參數分析儀
功率器件分析儀
源度量單位
曲線跟蹤器
精密LCR儀表
數字萬用表
阻抗分析儀
網絡分析器
手動晶圓測試探針臺規格參數
| 型號 | α150 | α200 | α300 |
| 晶圓卡片尺寸 | ~6英寸 | ~8英寸 | ~12英寸 |
| 位移臺行程（粗調） | X:150mm, Y:200mm | X:200mm, Y:200mm | X:320mm, Y:320mm |
| 位移臺行程（精調） | X：±12.5㎜ Y：±12.5㎜ | X：±12.5㎜ Y：±12.5㎜ | X：±12.5㎜ Y：±12.5㎜ |
| 位移臺Theta角范圍 | ±5° | ±5° | ±4° |
| Z軸位移臺行程 | 0-0.3-0.5mm | 0-0.3-0.5mm | 0-0.3-0.5mm |
| Z軸位移臺行程（精調） | 10mm | 10mm | 10mm |
| 尺寸 | W540×D635×H602㎜ | W540×D635×H602㎜ | W895×D760 ×H700㎜ |
| 重量 | 70Kg | 70kg | 165kg |
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