技術規格：

1、光學系統

類型：雙單色器 　　　　　　　　波長重復性：0.001nm

波長范圍：175nm-800nm 　　　　 zui大尋峰時間：5秒

半峰寬：0.006 nm（194nm） 　　　 檢測器：雙光電倍增管

入/出峰：固定

2、前級單色器

焦距：20cm 　　　　　　　　　　衍射光柵：全息凹面衍射光柵

3、階梯光柵單色器

焦距：30cm 　　　　　　　　　　衍射光柵：中階梯平面衍射光柵

4、真空紫外區：可充氮

5、觀察高度： 0～30mm（測微頭精確調整）

6、氣體流量

等離子體 （11-20L/min）　　 輔助氣 （0-2L/min）　　載氣 （0-400KPa）

技術指標

精密度：    RSD <2%

分辨率：    小于0.009nm（313nm）

動態范圍：  5個數量級

可測量元素：72

儀器特點

超小型

SPS8000光譜儀是目前世界上體積zui小的單道掃描型發射光譜儀。體積僅為750×680×655mm

高分辨率

利用中階梯光柵高色散的性能，配合雙單色器設計，使其在焦距僅為30mm的情況下，達到了與傳統一米焦距，3600線/mm光柵光譜儀同樣的性能，其中194nm處的半峰寬僅為0.006nm。

高靈敏度

雙電倍增管與充氮裝置的*結合使儀器的波長響應范圍達到175-800nm，全反射光路以及超短光程設計，消除了儀器色差，并大大提高了光譜能量，即使對P、S等超真空紫外光譜也具有良好的檢出限。

高精密度

進口精密機械傳動系統，*的計算機校正系統，使儀器具有出色的波長定位精度和重復精度。

強大的操作軟件

全中文Windows界面操作系統，強大完善的分析軟件，實現了全自動定性、定量分析，自動生成Excel格式的結果報告，使儀器操作與數據處理十分方便快捷。

良好的安全性

擁有氬氣低壓保護、水壓保護、RF電源斷電保護等完備的保護措施，大大減少了誤操作發生的可能性，提高了儀器的安全性和使用壽命