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化工儀器網>產品展廳>化工機械設備>泵閥類>其它泵閥設備> 瑞士VAT高真空蝶形控制閥61334-KEAE-0001

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瑞士VAT高真空蝶形控制閥61334-KEAE-0001

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上海茂碩機械設備有限公司2018年成立,現在整個市場有一批受眾用戶,因業務發展需要,所有的產品均從境外采購進貨,您可以避免國內合作商、辦事處和經銷商的分級合作商,層層盤剝的模式,享受到價格低、貨期短,而且100%歐洲原裝*的采購服務。

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公司具有豐富的氣動工控液壓產品銷售經驗,多年來與世界各國的較有名廠商相繼建立了良好的合作關系,所銷產品已廣泛應用于國內各工業領域,公司依仗品牌的優勢,以靈活的經營方式,多渠道,*地為客戶提供先進的自動化產品。

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應用領域 化工,能源,汽車及零部件,電氣,綜合

瑞士VAT高真空蝶形控制閥61334-KEAE-0001

1. 產品概述

  • 型號:61334-KEAE-0001

  • 類型:高真空蝶形控制閥(氣動驅動,金屬密封)

  • 品牌:VAT Group(瑞士 真空閥門制造商)

  • 適用領域:半導體、光伏、真空鍍膜、科研設備等


2. 核心參數

參數規格
真空范圍10?? mbar 至 大氣壓(超高真空兼容)
漏率<1×10?? mbar·l/s(金屬密封)
閥體材質316L不銹鋼(電解拋光,Ra ≤ 0.8 μm)
密封材質全金屬密封(金包覆不銹鋼,耐高溫烘烤)
驅動方式氣動執行(單/雙作用可選)
響應時間<100 ms(全開至全關)
溫度范圍-20°C 至 +150°C(標準),可選高溫版(+250°C)
法蘭標準ISO-KF、CF 或定制(SEMI標準兼容)
控制信號可選4-20mA / 0-10V 反饋,或數字通信(RS485)

3. 產品特點

超高真空性能

  • 適用于XHV(10?? mbar)環境,滿足半導體ALD、離子注入等嚴苛工藝需求。

耐腐蝕設計

  • 金屬密封(可選PTFE增強涂層),兼容Cl?、HBr、WF?等腐蝕性氣體。

快速響應

  • <100 ms開關速度,適用于動態氣體控制(如CVD脈沖沉積)。

長壽命

  • 機械壽命 >10?次循環,維護周期長,降低設備停機時間。


4. 典型應用

行業設備/工藝作用
半導體刻蝕(Etch)、ALD/CVD高真空隔離,氣體流量精準控制
光伏PECVD、濺射鍍膜快速抽真空,維持腔室壓力穩定
科研同步輻射、電子顯微鏡超高真空環境下的氣流調節

5. 安裝與維護

安裝要點

  • 法蘭對接:使用無應力安裝工具,避免閥體變形(扭矩≤10 Nm)。

  • 氣路連接:確保氣源潔凈(推薦0.1 μm過濾器)。

維護建議

  • 常規檢查:每3個月檢查密封面磨損情況。

  • 深度維護:每2年或50萬次循環后更換密封組件(原廠維修包可選)。

常見問題(FAQ)

Q1:能否替代61332-KEAF-0001?
→ 可以,但需確認密封材質是否匹配(KEAF為金屬密封,其他型號可能不同)。

Q2:是否支持EUV光刻機應用?
→ 支持,但需選配超潔凈版本(低顆粒釋放,需特殊訂貨)。

Q3:最小起訂量(MOQ)?
→ 原廠1臺起訂

瑞士VAT高真空蝶形控制閥61334-KEAE-0001

商品編號61336-PAAE-0001

商品編號61336-PEGF-0001

商品編號61338-PAGX-0001

商品編號61336-PECX-0001

商品編號661334-KACX-000

商品編號61340-PEGF-0001

商品編號61340-PEGQ-0001

商品編號61338-PEAK-0001

商品編號61344-PEAE-0001

商品編號61328-KEAX-0001

商品編號61332-KEAX-0001

商品編號61328-KEGF-0001

商品編號61348-PECK-0001

商品編號61346-PEGX-0001

商品編號61344-PACX-0001



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