瑞士VAT高真空蝶形控制閥61334-KEAE-0001
- 公司名稱 上海茂碩機械設備有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產地
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2025/7/17 12:21:56
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應用領域 | 化工,能源,汽車及零部件,電氣,綜合 |
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瑞士VAT高真空蝶形控制閥61334-KEAE-0001
1. 產品概述
型號:61334-KEAE-0001
類型:高真空蝶形控制閥(氣動驅動,金屬密封)
品牌:VAT Group(瑞士 真空閥門制造商)
適用領域:半導體、光伏、真空鍍膜、科研設備等
2. 核心參數
參數 | 規格 |
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真空范圍 | 10?? mbar 至 大氣壓(超高真空兼容) |
漏率 | <1×10?? mbar·l/s(金屬密封) |
閥體材質 | 316L不銹鋼(電解拋光,Ra ≤ 0.8 μm) |
密封材質 | 全金屬密封(金包覆不銹鋼,耐高溫烘烤) |
驅動方式 | 氣動執行(單/雙作用可選) |
響應時間 | <100 ms(全開至全關) |
溫度范圍 | -20°C 至 +150°C(標準),可選高溫版(+250°C) |
法蘭標準 | ISO-KF、CF 或定制(SEMI標準兼容) |
控制信號 | 可選4-20mA / 0-10V 反饋,或數字通信(RS485) |
3. 產品特點
? 超高真空性能
適用于XHV(10?? mbar)環境,滿足半導體ALD、離子注入等嚴苛工藝需求。
? 耐腐蝕設計
金屬密封(可選PTFE增強涂層),兼容Cl?、HBr、WF?等腐蝕性氣體。
? 快速響應
<100 ms開關速度,適用于動態氣體控制(如CVD脈沖沉積)。
? 長壽命
機械壽命 >10?次循環,維護周期長,降低設備停機時間。
4. 典型應用
行業 | 設備/工藝 | 作用 |
---|---|---|
半導體 | 刻蝕(Etch)、ALD/CVD | 高真空隔離,氣體流量精準控制 |
光伏 | PECVD、濺射鍍膜 | 快速抽真空,維持腔室壓力穩定 |
科研 | 同步輻射、電子顯微鏡 | 超高真空環境下的氣流調節 |
5. 安裝與維護
安裝要點
法蘭對接:使用無應力安裝工具,避免閥體變形(扭矩≤10 Nm)。
氣路連接:確保氣源潔凈(推薦0.1 μm過濾器)。
維護建議
常規檢查:每3個月檢查密封面磨損情況。
深度維護:每2年或50萬次循環后更換密封組件(原廠維修包可選)。
常見問題(FAQ)
Q1:能否替代61332-KEAF-0001?
→ 可以,但需確認密封材質是否匹配(KEAF為金屬密封,其他型號可能不同)。
Q2:是否支持EUV光刻機應用?
→ 支持,但需選配超潔凈版本(低顆粒釋放,需特殊訂貨)。
Q3:最小起訂量(MOQ)?
→ 原廠1臺起訂
瑞士VAT高真空蝶形控制閥61334-KEAE-0001
商品編號61336-PAAE-0001
商品編號61336-PEGF-0001
商品編號61338-PAGX-0001
商品編號61336-PECX-0001
商品編號661334-KACX-000
商品編號61340-PEGF-0001
商品編號61340-PEGQ-0001
商品編號61338-PEAK-0001
商品編號61344-PEAE-0001
商品編號61328-KEAX-0001
商品編號61332-KEAX-0001
商品編號61328-KEGF-0001
商品編號61348-PECK-0001
商品編號61346-PEGX-0001
商品編號61344-PACX-0001