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化工儀器網>產品展廳>化工機械設備>泵閥類>其它泵閥設備> 瑞士VAT高真空蝶形控制閥61338-PECK-0001

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瑞士VAT高真空蝶形控制閥61338-PECK-0001

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應用領域 化工,能源,汽車及零部件,電氣,綜合

瑞士VAT高真空蝶形控制閥61338-PECK-0001

1. 產品概述

  • 型號:61338-PECK-0001

  • 類型:氣動高真空蝶形調節閥(金屬密封,快響應型)

  • 品牌:VAT Group(瑞士真空閥門技術)

  • 產品定位:面向半導體制造和科研設備的超高真空動態控制

  • 核心特點

    • 超高真空兼容性(XHV級)

    • 耐等離子體腐蝕設計

    • 毫秒級快速響應


2. 關鍵性能參數

參數技術指標
真空范圍10?1? mbar ~ 大氣壓
漏率<1×10?? mbar·l/s(金屬密封版)
閥體材質316L不銹鋼(電解拋光,Ra≤0.5μm)
蝶板材質鈦合金鍍Al?O?(可選)
密封類型全金屬密封(金包覆Inconel)
驅動方式雙作用氣動(4-6 bar)
響應時間<50 ms(全開至全關)
溫度范圍-20°C ~ +200°C(標準)
法蘭標準ISO-KF/DN40~160、CF 2.75"~8"
控制接口4-20mA/PROFIBUS DP(可選)

3. 核心技術特點

① 等離子體防護系統

  • 可選Al?O?或Y?O?鍍層,耐受Cl?/HBr/SF?等離子體腐蝕

  • 流道優化設計,顆粒釋放率<5 particles/m3(≥0.1μm)

② 超快動態響應

  • 優化氣路設計,實現<50ms開關速度

  • 位置反饋精度±0.5%(可選±0.1%高精度版)

③ 智能診斷功能

  • 集成溫度/振動傳感器(預測性維護)

  • 支持工業4.0通信協議(OPC UA可選)


4. 典型應用場景

行業具體應用特殊要求
半導體制造原子層沉積(ALD)脈沖響應<50ms

等離子刻蝕(Etch)耐Cl?/HBr腐蝕
光伏設備PECVD系統大流量調節(Cv=1.5)
科研裝置同步輻射光源無磁化設計
真空鍍膜濺射鍍膜系統高精度壓力控制

5. 安裝與維護規范

安裝要求

  1. 使用激光對中儀確保安裝偏差<0.1mm

  2. 氣路配置0.1μm過濾器(VAT P/N: FLT-100M)

  3. 運行前進行5次空載循環測試

維護計劃

  • 每季度:密封面檢查(使用VAT專用內窺鏡)

  • 每10?次循環:更換驅動機構密封件

  • 年度保養:氦質譜檢漏測試(建議原廠服務)


6. 同系列型號對比

特性61338-PECK-000161344-PEGN-000161340-PACX-0001
響應速度<50 ms<30 ms<50 ms
耐溫性+200°C+250°C+200°C
密封設計單金屬密封雙冗余密封單金屬密封
典型應用通用真空系統EUV/ALD

刻蝕設備


瑞士VAT高真空蝶形控制閥61338-PECK-0001

商品編號61338-PACN-0001

商品編號61336-PEGK-0001

商品編號61338-PEAF-0001

商品編號61340-PAAE-0001

商品編號61344-PEGK-0001

商品編號61336-PECQ-0001

商品編號61334-KAGQ-0001

商品編號61336-PAGN-0001

商品編號61334-KEAK-0001

商品編號61334-KEGN-0001

商品編號61334-KAGK-0001

商品編號61338-PAM1-0001

商品編號61340-PAGN-0001

商品編號61338-PACH-0001

商品編號61338-PAGF-0001



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