| 應用領域 | 化工,能源,汽車及零部件,電氣,綜合 |
|---|
瑞士VAT 590系列電動高真空調節閥
一、590系列產品定位
產品類型：電動驅動高真空調節閥（Proportional Control Valve）
核心功能：
精密壓力調節（10?3 ~ 10?? mbar范圍）
動態流量控制（適用于CVD、PVD、刻蝕等工藝）
核心優勢：
分辨率達0.1%滿量程，響應時間<50ms
全金屬密封（漏率<1×10?11 mbar·L/s）
支持模擬量（0-10V/4-20mA） 和 數字通信（RS485/Profibus） 控制
二、型號命名規則（以VAT 590.12-AA為例）
| 代碼段 | 含義 |
|---|---|
| 590 | 系列名稱（電動調節閥） |
| .12 | 通徑尺寸（12=DN25，18=DN40） |
| -AA | 密封材質（AA=氟橡膠，MM=金屬） |
三、中國市場常用子型號對比
| 型號 | 通徑 | 控制信號 | 密封材質 | 漏率 | 典型應用場景 |
|---|---|---|---|---|---|
| VAT 590.12-AA | DN25 | 0-10V/4-20mA | 氟橡膠 | <1×10?? mbar·L/s | 實驗室真空系統 |
| VAT 590.18-MM | DN40 | RS485/Profibus | 金屬密封 | <1×10?11 mbar·L/s | 半導體ALD設備 |
| VAT 590.24-MM | DN63 | 0-10V | 金屬密封 | <1×10?11 mbar·L/s | 光伏鍍膜腔室進氣控制 |
四、核心技術參數
調節性能：
線性度：±0.5%滿量程
重復精度：±0.2%
流量系數（Cv）：0.02（DN25）~0.15（DN63）
電氣特性：
電源電壓：24V DC ±10%
功耗：<15W（待機<5W）
位置反饋：可選0-10V或SSI絕對值編碼器
環境適應性：
氟橡膠密封：-20°C ~ +150°C
金屬密封：-200°C ~ +250°C（烘烤工況）
溫度范圍：
耐腐蝕性：兼容Cl?、NF?等工藝氣體（需選配鍍鎳閥體）
五、選型關鍵步驟
確定通徑：
根據流量需求選擇DN25/DN40/DN63
計算公式：
（Q: 流量，ΔP: 壓差，ρ: 氣體密度）選擇控制模式：
模擬量控制：適用于PLC直接控制
數字通信：適合集成到智能真空管理系統
密封材質：
氟橡膠（AA）：低成本，適合一般真空（≤10?? mbar）
金屬密封（MM）：超高真空（≤10?11 mbar），耐等離子體
特殊選項：
加熱版本：防止氣體冷凝（如SiH?工藝）
ATEX防爆認證：用于危險環境
六、安裝與調試要點
機械安裝：
閥體方向需與氣流一致（箭頭標識）
避免振動源（建議加裝減震支架）
電氣連接：
屏蔽電纜布線（防止電磁干擾）
接地電阻<1Ω
參數校準：
通過HMI或軟件設置零位（0%開度）
標定滿量程（100%開度對應10V/20mA）
測試階躍響應（目標：超調量<5%）
七、典型故障處理
| 故障現象 | 可能原因 | 解決方案 |
|---|---|---|
| 閥門開度抖動 | 信號干擾/電源不穩定 | 檢查屏蔽接地，穩壓電源 |
| 壓力控制超調 | PID參數不合理 | 重新整定（P↓, I↑, D↓） |
| 通信中斷 | 協議配置錯誤 | 核對波特率/設備地址 |
瑞士VAT 590系列電動高真空調節閥
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