| 應用領域 | 化工,能源,汽車及零部件,電氣,綜合 |
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瑞士VAT真空閥47系列
以下是關于 瑞士VAT公司47系列高真空角閥 的詳細技術解析，涵蓋其型號分類、技術特點、選型指南及中國市場應用情況：
一、VAT 47系列產品定位
產品類型：氣動驅動高真空角閥（Angle Valve）
核心用途：
真空腔體的隔離與通氣控制
適用于半導體、光伏、真空鍍膜、科研設備等超高真空（UHV）場景
核心認證：
符合SEMI標準，漏率<1×10?? mbar·L/s
材料兼容性：316L不銹鋼、氟橡膠（FKM）或全金屬密封
二、型號命名規則（以VAT 47152-AA為例）
| 代碼段 | 含義 |
|---|---|
| 47 | 系列名稱（氣動高真空角閥） |
| 1 | 閥體尺寸（1=DN16，5=DN160） |
| 52 | 法蘭類型（52=CF法蘭） |
| AA | 密封材質（AA=氟橡膠，MM=金屬） |
三、中國市場常用子型號對比
| 型號 | 通徑 | 法蘭類型 | 密封材質 | 溫度范圍 | 典型應用場景 |
|---|---|---|---|---|---|
| VAT 47112-AA | DN16 | CF-F | 氟橡膠 | -20~+150°C | 小型真空腔體 |
| VAT 47152-AA | DN40 | CF-F | 氟橡膠 | -20~+150°C | 鍍膜設備進氣閥 |
| VAT 47552-MM | DN160 | ISO-K | 金屬密封 | -200~+250°C | 半導體刻蝕機 |
| VAT 47652-AA | DN63 | CF-F | 氟橡膠 | -20~+150°C | 光伏組件真空系統 |
四、核心技術參數
真空性能：
漏率：氟橡膠版<1×10?? mbar·L/s，金屬密封版<1×10?11 mbar·L/s
耐壓差：標準版1×10?? mbar至大氣壓（金屬密封版可達10?12 mbar）
機械特性：
驅動方式：單/雙作用氣動（需0.4~0.6MPa壓縮空氣）
啟閉時間：<1秒（DN40以下規格）
循環壽命：>100萬次（金屬密封版>50萬次）
環境適應性：
氟橡膠版耐溶劑性：兼容丙酮、酒精（不兼容強酸）
金屬密封版烘烤溫度：最高250°C（需選配高溫電磁閥）
五、選型關鍵步驟
確定通徑：根據管道尺寸選擇DN16/DN40/DN63/DN160等
選擇密封：
氟橡膠（AA）：成本低，適合一般真空（≤10?? mbar）
金屬密封（MM）：超高真空（≤10?11 mbar），耐高溫
匹配法蘭：
CF法蘭：超高真空標準（半導體行業）
ISO-K法蘭：大流量應用（如鍍膜設備）
驅動配置：
單作用（彈簧復位）：斷電自動關閉
雙作用：需雙向氣控，響應更快
六、安裝與維護要點
安裝規范：
閥體箭頭方向需與氣流方向一致
法蘭螺栓需對角逐步擰緊（扭矩參考VAT技術手冊）
維護建議：
氟橡膠密封圈每2年更換（頻繁使用工況）
金屬密封閥每5年做氦質譜檢漏
七、典型故障處理
| 故障現象 | 可能原因 | 解決方案 |
|---|---|---|
| 閥門無法關閉 | 氣源壓力不足/密封圈磨損 | 檢查氣路（≥0.4MPa），更換密封件 |
| 真空度不達標 | 法蘭密封面污染 | 用無塵布蘸酒精清潔密封面 |
| 啟閉速度變慢 | 電磁閥故障/氣缸漏氣 | 更換驅動電磁閥（推薦Festo或SMC） |
八、中國市場的替代方案
國產替代：
北京中科科儀 ZK系列角閥（DN16~DN200，漏率<5×10?? mbar·L/s）
日系品牌：
SMC VXH系列（適用于中低真空，性價比高）
交貨周期：常規型號庫存2-4周，定制閥體需8-12周
瑞士VAT真空閥47系列
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