金屬電容真空壓力計
| 參考價 | ￥3000-￥8000/件 |
具體成交價以合同協議為準
- 公司名稱 陜西君研科技有限公司
- 品牌其他品牌
- 型號
- 所在地寶雞市
- 廠商性質生產廠家
- 更新時間2025/7/2 17:18:46
- 訪問次數 42
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| 測量原理 | 金屬電容式原理 | 產地類別 | 國產 |
|---|---|---|---|
| 價格區間 | 5千-1萬 | 量程 | 0-1333.22mbar |
| 應用領域 | 電子/電池,電氣,綜合 | 真空接口 | KF2EDG3.81；DB-9；DB-15 |
一、金屬電容真空壓力計的特點：
1、高精度、高穩定性
2、耐磨損、耐腐蝕性
3、耐高過載特性
4、優異的抗干擾設計
5、工作溫度范圍寬
二、金屬電容真空壓力計的應用：
1、半導體處理室
2、PECVD 過程控制
3、等離子體滅菌器
4、核工業、鈾濃縮
三、金屬電容真空壓力計的產品參數
量 程 | 0…1torr;0…10torr;0…100torr;0…1000torr |
供 電 | 15…30VDC |
輸 出 | 0…10VDC; 0…5VDC;1…5VDC |
精 度 | 0.2%FS;0.5%FS;1.0%FS@25℃ |
補償溫度 | 0…50℃ |
介質溫度 | -20…80℃ |
存儲溫度 | -40…85℃ |
溫 漂 | ≤0.04% FS/℃ |
穩定性 | 0.5%FS/年 |
響應時間 | ≤20mS |
測量介質 | 與鎳基合金兼容的氣體 |
外殼材質 | 304SS |
膜片材質 | 鎳基合金 |
電流消耗 | ≤10mA |
輸出負載 | >10KΩ |
電器連接 | 見接線方式 |
過程接口 | 見外形圖 |
四、金屬電容真空壓力計的外形圖
五、金屬電容真空壓力計的接線方式
六、金屬電容真空壓力計的選型指南
VM | 真空壓力計 | ||||||
01 | 金屬電容 | ||||||
02 | 陶瓷電容 | ||||||
S1 | 4-20mA;S2:// | ||||||
S3 | 0-5V | ||||||
S4 | 0-10V | ||||||
… | S5://;S6:RS485 | ||||||
U1 | 15-30VDC | ||||||
010 | 0.1Torr | ||||||
100 | 1 Torr | ||||||
101 | 10 Torr | ||||||
102 | 100 Torr | ||||||
103 | 1000 Torr | ||||||
C1 | KF16 | ||||||
C2 | 1/2VCR | ||||||
C3 | 1/4VCR | ||||||
C2F | 1/2VCR female | ||||||
C3F | 1/4VCR female | ||||||
E1 | KF2EDG 3.81 | ||||||
E2 | DB-9 | ||||||
E3 | DB-15 | ||||||
VM | 01 | S4 | U1 | 101 | C1 | E3 | |
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