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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>干法工藝設備>干法清洗設備> SEMI-KLEEN UHV等離子體清洗機

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SEMI-KLEEN UHV等離子體清洗機

參考價 100000
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協議為準

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FIRSTNANO成立于2012年,一家由三位材料學博士共同創辦的德國公司。基于 Science is international”的想法,“全球協同實驗室”成為三位博士追逐的夢想。

公司愿景是從科學家到科學家,科學開創美好未來。

FIRSTNANO深耕于半導體技術、材料科學、生命科學等科研領域,始終秉承“前沿、專業、科學”的宗旨,將前沿技術引進到協同實驗室。我們的產品覆蓋了微納加工制程;材料科學的檢測、分析;生命科學成像,腦科學與行為認知等相關領域。作為全球科技前沿的儀器供應商,FIRSTNANO具有全球技術視野、優質供應體系、以及嚴格的質量管控系統,能為客戶提供前沿的技術解決方案。

公司服務的客戶領域廣泛,其中包括消費電子、航空、航天、醫藥技術、半導體行業、光電子行業、高校和研究機構。

在成長的過程中,我們腳踏實地、奮勇向前。自2015年香港(中華區)公司成立以來,我們一相繼在香港、深圳、上海和武漢設立了分支機構。

我們真誠邀請業內英才加入FIRSTNANO TEAM,一起為夢想揚帆起航!

 

 

 

 

 

半導體儀器和電子產品耗材耗材


SEMI-KLEEN UHV等離子體清洗機是 SEMI-KLEEN 系列等離子體清潔器的特殊版本,用于超高真空(UHV)室和樣品清潔應用。等離子體源主體由釬焊到不銹鋼凸緣的玻璃管構成。所有的真空接頭都是玻璃-金屬釬焊或金屬-金屬接觸。在源體內沒有使用聚合物密封。等離子體源的背面是 1/4 英寸的 VCR 連接器。前側法蘭為 CF2.75″(DN 40 CF)不銹鋼。

SEMI-KLEEN UHV等離子體清洗機

SEMI-KLEEN UHV等離子體清洗機有兩種控制氣體流量的方法:手動針閥或外部 MFC。SEMI-KLEEN 控制器可以驅動兩個外部 MFC 并自動混合兩種工藝氣體。如果使用外部 MFC 來控制氣體流速,則配方可以指定每個 MFC 的氣體流速。





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