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Model 30 準(zhǔn)直紫外光源及曝光系統(tǒng)
- 公司名稱 德國韋氏納米系統(tǒng)有限公司
- 品牌 OAI
- 型號
- 產(chǎn)地 美國
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/7/10 13:29:19
- 訪問次數(shù) 51
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產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 |
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Model 30 準(zhǔn)直紫外光源及曝光系統(tǒng)
OAI 的獨立式紫外泛光曝光系統(tǒng),適用于深紫外、中紫外或近紫外。系統(tǒng)包括強(qiáng)度控制、雙波長傳感器和精密曝光定時器。從靈活性角度設(shè)計,該系統(tǒng)可用作獨立單元,集成到晶圓旋轉(zhuǎn)軌道上,或通過使用一個或兩個燈箱以及各種光路方向,以多種其他配置形式使用。在深紫外波段,可實現(xiàn)單級或多級高分辨率光刻,光譜峰值為 220、260 或 310 納米。近紫外系統(tǒng)功率范圍為 200 至 2000 瓦,深紫外系統(tǒng)為 500 至 2000 瓦 。
燈發(fā)出的能量被導(dǎo)向主介質(zhì)鏡,主介質(zhì)鏡反射所需能量并濾除不需要的輻射。可調(diào)節(jié)的光學(xué)積分器提高能量均勻性,并能控制能量和光束發(fā)散度。能量在曝光平面均勻分布并被準(zhǔn)直。透過副鏡的能量由一個調(diào)諧到所需波長的光學(xué)探測器測量,并傳輸?shù)胶愣◤?qiáng)度控制器,該控制器補(bǔ)償燈的老化和功率波動,將光線控制在 ±2% 以內(nèi)。雙通道控制器可在 0.1 或 1.0 秒的增量下設(shè)置為 0 到 999 秒。
OAI 紫外曝光系統(tǒng)以長期可靠性和高效率著稱。它們的設(shè)計便于從一個波長區(qū)域轉(zhuǎn)換到另一個波長區(qū)域,并有多種帶通鏡組可供選擇 。
應(yīng)用領(lǐng)域
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