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化工儀器網>產品展廳>行業專用儀器及設備>其它行業專用儀器>電力行業檢測儀> Model 30 準直紫外光源及曝光系統

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Model 30 準直紫外光源及曝光系統

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FIRSTNANO成立于2012年,一家由三位材料學博士共同創辦的德國公司。基于 Science is international”的想法,“全球協同實驗室”成為三位博士追逐的夢想。

公司愿景是從科學家到科學家,科學開創美好未來。

FIRSTNANO深耕于半導體技術、材料科學、生命科學等科研領域,始終秉承“前沿、專業、科學”的宗旨,將前沿技術引進到協同實驗室。我們的產品覆蓋了微納加工制程;材料科學的檢測、分析;生命科學成像,腦科學與行為認知等相關領域。作為全球科技前沿的儀器供應商,FIRSTNANO具有全球技術視野、優質供應體系、以及嚴格的質量管控系統,能為客戶提供前沿的技術解決方案。

公司服務的客戶領域廣泛,其中包括消費電子、航空、航天、醫藥技術、半導體行業、光電子行業、高校和研究機構。

在成長的過程中,我們腳踏實地、奮勇向前。自2015年香港(中華區)公司成立以來,我們一相繼在香港、深圳、上海和武漢設立了分支機構。

我們真誠邀請業內英才加入FIRSTNANO TEAM,一起為夢想揚帆起航!

 

 

 

 

 

半導體儀器和電子產品耗材耗材

產地類別 進口

Model 30 準直紫外光源及曝光系統


Model 30 準直紫外光源及曝光系統


OAI 的獨立式紫外泛光曝光系統,適用于深紫外、中紫外或近紫外。系統包括強度控制、雙波長傳感器和精密曝光定時器。從靈活性角度設計,該系統可用作獨立單元,集成到晶圓旋轉軌道上,或通過使用一個或兩個燈箱以及各種光路方向,以多種其他配置形式使用。在深紫外波段,可實現單級或多級高分辨率光刻,光譜峰值為 220、260 或 310 納米。近紫外系統功率范圍為 200 至 2000 瓦,深紫外系統為 500 至 2000 瓦 。


燈發出的能量被導向主介質鏡,主介質鏡反射所需能量并濾除不需要的輻射。可調節的光學積分器提高能量均勻性,并能控制能量和光束發散度。能量在曝光平面均勻分布并被準直。透過副鏡的能量由一個調諧到所需波長的光學探測器測量,并傳輸到恒定強度控制器,該控制器補償燈的老化和功率波動,將光線控制在 ±2% 以內。雙通道控制器可在 0.1 或 1.0 秒的增量下設置為 0 到 999 秒。


OAI 紫外曝光系統以長期可靠性和高效率著稱。它們的設計便于從一個波長區域轉換到另一個波長區域,并有多種帶通鏡組可供選擇 。


應用領域

  • 光聚合物曝光

  • 多層抗蝕劑加工

  • 圖像反轉

  • 邊緣珠(邊緣膠束 )去除

  • 圖像穩定化

  • 光刻膠輪廓修正

  • 晶圓旋轉軌道在線加工

  • 平板顯示器


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Model 30 準直紫外光源及曝光系統


Model 30 準直紫外光源及曝光系統





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