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Model 30 準(zhǔn)直紫外光源及曝光系統(tǒng)

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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FIRSTNANO成立于2012年,一家由三位材料學(xué)博士共同創(chuàng)辦的德國公司。基于 Science is international”的想法,“全球協(xié)同實驗室”成為三位博士追逐的夢想。

公司愿景是從科學(xué)家到科學(xué)家,科學(xué)開創(chuàng)美好未來。

FIRSTNANO深耕于半導(dǎo)體技術(shù)、材料科學(xué)、生命科學(xué)等科研領(lǐng)域,始終秉承“前沿、專業(yè)、科學(xué)”的宗旨,將前沿技術(shù)引進(jìn)到協(xié)同實驗室。我們的產(chǎn)品覆蓋了微納加工制程;材料科學(xué)的檢測、分析;生命科學(xué)成像,腦科學(xué)與行為認(rèn)知等相關(guān)領(lǐng)域。作為全球科技前沿的儀器供應(yīng)商,FIRSTNANO具有全球技術(shù)視野、優(yōu)質(zhì)供應(yīng)體系、以及嚴(yán)格的質(zhì)量管控系統(tǒng),能為客戶提供前沿的技術(shù)解決方案。

公司服務(wù)的客戶領(lǐng)域廣泛,其中包括消費電子、航空、航天、醫(yī)藥技術(shù)、半導(dǎo)體行業(yè)、光電子行業(yè)、高校和研究機(jī)構(gòu)。

在成長的過程中,我們腳踏實地、奮勇向前。自2015年香港(中華區(qū))公司成立以來,我們一相繼在香港、深圳、上海和武漢設(shè)立了分支機(jī)構(gòu)。

我們真誠邀請業(yè)內(nèi)英才加入FIRSTNANO TEAM,一起為夢想揚帆起航!

 

 

 

 

 

半導(dǎo)體儀器和電子產(chǎn)品耗材耗材

產(chǎn)地類別 進(jìn)口

Model 30 準(zhǔn)直紫外光源及曝光系統(tǒng)


Model 30 準(zhǔn)直紫外光源及曝光系統(tǒng)


OAI 的獨立式紫外泛光曝光系統(tǒng),適用于深紫外、中紫外或近紫外。系統(tǒng)包括強(qiáng)度控制、雙波長傳感器和精密曝光定時器。從靈活性角度設(shè)計,該系統(tǒng)可用作獨立單元,集成到晶圓旋轉(zhuǎn)軌道上,或通過使用一個或兩個燈箱以及各種光路方向,以多種其他配置形式使用。在深紫外波段,可實現(xiàn)單級或多級高分辨率光刻,光譜峰值為 220、260 或 310 納米。近紫外系統(tǒng)功率范圍為 200 至 2000 瓦,深紫外系統(tǒng)為 500 至 2000 瓦 。


燈發(fā)出的能量被導(dǎo)向主介質(zhì)鏡,主介質(zhì)鏡反射所需能量并濾除不需要的輻射。可調(diào)節(jié)的光學(xué)積分器提高能量均勻性,并能控制能量和光束發(fā)散度。能量在曝光平面均勻分布并被準(zhǔn)直。透過副鏡的能量由一個調(diào)諧到所需波長的光學(xué)探測器測量,并傳輸?shù)胶愣◤?qiáng)度控制器,該控制器補(bǔ)償燈的老化和功率波動,將光線控制在 ±2% 以內(nèi)。雙通道控制器可在 0.1 或 1.0 秒的增量下設(shè)置為 0 到 999 秒。


OAI 紫外曝光系統(tǒng)以長期可靠性和高效率著稱。它們的設(shè)計便于從一個波長區(qū)域轉(zhuǎn)換到另一個波長區(qū)域,并有多種帶通鏡組可供選擇 。


應(yīng)用領(lǐng)域

  • 光聚合物曝光

  • 多層抗蝕劑加工

  • 圖像反轉(zhuǎn)

  • 邊緣珠(邊緣膠束 )去除

  • 圖像穩(wěn)定化

  • 光刻膠輪廓修正

  • 晶圓旋轉(zhuǎn)軌道在線加工

  • 平板顯示器


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